发明公开
- 专利标题： GRAY-TONE RESISTS AND PROCESSES
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申请号： EP22813803.8申请日： 2022-10-27
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公开(公告)号： EP4423574A1公开(公告)日： 2024-09-04
- 发明人: DUNDAR ARISOY, Feyza , KAITZ, Joshua Andrew , VORA, Ankit , FRANKE, Elliott , ZHANG, Keren , SPORRE, John , ZHANG, Xu
- 申请人： META PLATFORMS TECHNOLOGIES, LLC
- 申请人地址： US Menlo Park, CA 94025 1601 Willow Road
- 专利权人： META PLATFORMS TECHNOLOGIES, LLC
- 当前专利权人： META PLATFORMS TECHNOLOGIES, LLC
- 当前专利权人地址： US Menlo Park, CA 94025 1601 Willow Road
- 代理机构： Murgitroyd & Company
- 优先权： US 2163272519P 2021.10.27
- 国际申请： US2022048009 2022.10.27
- 国际公布： WO2023076465 2023.05.04
- 主分类号： G03F7/022
- IPC分类号： G03F7/022 ; G03F7/023 ; G02B27/01 ; G03F7/00 ; G03F7/40 ; G06F3/01
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