发明公开
- 专利标题: MOLYBDENUM PRECURSOR COMPOUNDS
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申请号: EP22893503.7申请日: 2022-11-07
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公开(公告)号: EP4430226A1公开(公告)日: 2024-09-18
- 发明人: GARRETT, Benjamin R. , WATSON, Michael , ZHAO, Pei
- 申请人: Entegris, Inc.
- 申请人地址: US Billerica, MA 01821 129 Concord Road
- 专利权人: Entegris, Inc.
- 当前专利权人: Entegris, Inc.
- 当前专利权人地址: US Billerica, MA 01821 129 Concord Road
- 代理机构: Greaves Brewster LLP
- 优先权: US 2163277829P 2021.11.10
- 国际申请: US2022049145 2022.11.07
- 国际公布: WO2023086298 2023.05.19
- 主分类号: C23C16/18
- IPC分类号: C23C16/18 ; C23C16/455 ; C07F11/00
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