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发明公开
MOLYBDENUM PRECURSOR COMPOUNDS 审中-实审

公开(公告)号：EP4430226A1

公开(公告)日：2024-09-18

申请号：EP22893503.7

申请日：2022-11-07

申请人： Entegris, Inc.

发明人： GARRETT, Benjamin R. , WATSON, Michael , ZHAO, Pei

IPC分类号： C23C16/18 , C23C16/455 , C07F11/00

CPC分类号： C23C16/405 , C23C16/18 , C23C16/45553