发明公开
- 专利标题： STOCKER SYSTEM
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申请号： EP22718208.6申请日： 2022-03-25
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公开(公告)号： EP4430453A1公开(公告)日： 2024-09-18
- 发明人: REBSTOCK, Lutz , SCHWETZ, Michael Alexander
- 申请人： Brooks Automation (Germany) GmbH
- 申请人地址： DE 78256 Steißlingen Daimlerstraße 7
- 专利权人： Brooks Automation (Germany) GmbH
- 当前专利权人： Brooks Automation (Germany) GmbH
- 当前专利权人地址： DE 78256 Steißlingen Daimlerstraße 7
- 代理机构： Dehns Germany Partnerschaft mbB
- 优先权： EP 207018 2021.11.08
- 国际申请： EP2022058019 2022.03.25
- 国际公布： WO2023078589 2023.05.11
- 主分类号： G03F1/66
- IPC分类号： G03F1/66 ; G03F7/20 ; H01L21/673
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