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发明专利
JP2009537296A Method for producing a layer of organic material 有权

Method for producing a layer of organic material
摘要：
本発明は有機材料の層の製造方法を提供する。 その製造方法は、堆積条件下で基体に、溶媒中に溶解した前記有機材料を含む溶液の層を供給する工程と、必要に応じて前記溶液の層を部分的に乾燥する工程と、その後前記溶液の層をアニーリングする工程であって、前記アニーリングは前期溶液の層が完全に乾燥する前に実施され、前記アニーリングの継続時間はアニーリングの間に前期溶液の層が安全に乾燥しないように制限され、前記アニーリングが前期溶液の層のリフローを生じさせるアニーリング工程と、その後前記溶液の層を乾燥させる工程であって、堆積条件下で乾燥するよりも遅く前記乾燥が実施されるように制御される乾燥工程とを含む。 得られた有機材料の層はミクロ品質およびマクロ品質の両方で改善を示し、より少ない表面粗さと正確な線解像度およびエッジ解像力をを萎えた十分に長いフィルムの獲得をもたらす。
【選択図】図１
摘要（英）：

The present invention provides a method for producing a layer of organic material. The production method, the substrate in the deposition conditions, a step of drying the steps of providing a layer of a solution, a layer of said solution optionally partially containing an organic material dissolved in a solvent, then the comprising the steps of annealing the layer of solution, the annealing is carried out before the layer of the previous fiscal year solution is completely dry, as the layers of the previous fiscal year solution to the duration of the annealing annealing is not safely dry limit is the annealing step in which the annealing causes a reflow layer in the previous year solution, subsequently a step of drying the layer of solution, control such that the drying is performed slower than dried in the deposition conditions and a that drying process. The layers of the resulting organic material showed improvement in both the micro and macro Quality Quality, resulting in acquisition of sufficiently long film withered to less surface roughness and precise line resolution and edge definition.
.FIELD 1

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