发明专利
- 专利标题： ウエハキャリア
- 专利标题（英）： Wafer carrier
- 专利标题（中）： 散热器
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申请号： JP2014096757申请日： 2014-05-08
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公开(公告)号： JP2015216162A公开(公告)日： 2015-12-03
- 发明人: 阿部 信平
- 申请人： トヨタ自動車株式会社
- 申请人地址： 愛知県豊田市トヨタ町1番地
- 专利权人： トヨタ自動車株式会社
- 当前专利权人： トヨタ自動車株式会社
- 当前专利权人地址： 愛知県豊田市トヨタ町1番地
- 代理商 家入 健
- 主分类号： B65D85/86
- IPC分类号： B65D85/86 ; H01L21/673
摘要：
【課題】発塵要素がクリーン室内へ入り込むのを抑制すること。 【解決手段】ウエハキャリア1は、半導体ウエハ100が載置される下部ユニット2と、下部ユニット2に着脱可能に取り付けられ、下部ユニット2との間に半導体ウエハ100を収容する密閉室4を形成する上部ユニット3と、を備えている。上部ユニット3には、下部ユニット2の側面に当接することで、下部ユニット2を上部ユニット3に固定する複数のロック機構5が設けられている。 【選択図】図1
公开/授权文献
- JP6020511B2 ウエハキャリア 公开/授权日：2016-11-02
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IPC分类:
