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公开(公告)号：JP2021030566A
公开(公告)日：2021-03-01
申请号：JP2019153021
申请日：2019-08-23
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
摘要： 【課題】シート部材の積層時における損傷を抑制する。 【解決手段】積層体保持装置40は、シート部材1が積層される積層台43と、積層台43を、積層台43に積層されたシート部材1の積層方向上側に向けて常時押圧する押圧機構42と、積層台43の左右両側に対向するように、積層台43の前後方向と平行に配置される一対のクランプロッド51と、クランプロッド51に固定され、積層台43に積層されたシート部材1を積層方向上側から押さえるためのクランプアーム52と、クランプロッド51を積層方向と平行に移動させるスライド機構60と、クランプアーム52が積層方向上側に開きながら積層台43から離れるように、またクランプアーム52が積層台43に近づきながら積層方向下側に向かって閉じていくように、クランプロッド51を揺動させるチルト機構70と、を備える。 【選択図】図9
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公开(公告)号：JP6822270B2
公开(公告)日：2021-01-27
申请号：JP2017065261
申请日：2017-03-29
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/205
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公开(公告)号：JP2019181648A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2018078576
申请日：2018-04-16
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： B28D5/04 , B28D1/22 , H01L21/304 , B24B27/06
摘要： 【課題】モータにより回転させる被回転物の偏芯を吸収させることが可能で、且つモータの回転軸方向のスペースを小さくすることが可能なワイヤソー装置を提供する。 【解決手段】ワイヤソー装置1は、偏芯吸収部12、ベアリング17、及びリール10を備える。偏芯吸収部12は、モータ20の回転軸21の周囲に固定されている。ベアリング17は、偏芯吸収部12に内輪が固定され、モータ20の非回転部分に直接又は間接的に外輪が固定されている。リール10は、ベアリング17の外周より外側において偏芯吸収部12の外周側に固定されている。偏芯吸収部12は、回転軸21に沿った方向の断面が径方向の剛性を小さくするS字形状となる部分13を有するとともに、部分13の円周方向の一部に切欠き部を有する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6299454B2
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：JP2014122142
申请日：2014-06-13
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01L21/677 , B25J9/00
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公开(公告)号：JP2017196689A
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：JP2016088232
申请日：2016-04-26
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
摘要： 【課題】加工室の内部を目視するための透明部に傷が付くのを防止することができるワイヤソー装置を提供する。 【解決手段】ワークを加工するための加工室10と、該加工室10を覆うカバー20と、該カバー20の少なくとも一部に設けられた透明部21とを備えるワイヤソー装置である。ワイヤソー装置は、カバー20の内表面20a上部に対向配置された洗浄ユニット40を備える。洗浄ユニット40は、透明部21の横断方向に沿って延びる洗浄液流路41と、洗浄液流路41に設けられた洗浄液流出口42と、洗浄液流出口42の下方で上方に向けて開口し透明部21の横断方向に沿って延びる洗浄液受溝43と、洗浄液受溝43の開口縁43aに沿って延びかつカバー20へ向けて斜め下方へ延びる洗浄液案内部44とを有する。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP6128050B2
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：JP2014091344
申请日：2014-04-25
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/06
CPC分类号： B25J15/0616 , H01L21/6838
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公开(公告)号：JP2016147774A
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：JP2015024718
申请日：2015-02-10
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
摘要： 【課題】装置の大型化を避けつつ、高品質の単結晶を、安全に製造することができる、単結晶製造装置を提供する。 【解決手段】坩堝と種結晶の少なくとも一方に、回転軸が連結されており、回転軸は、冷却水流路を有しており、冷却水流路の両端は、回転軸の外周に開口部を有し、回転軸の坩堝と反対側の端部は、チャンバの外部へ突出しており、端部の外周に、3本以上の環状パッキンを介してシールハウジングが設置されており、環状パッキンの隣り合う2本の間に、冷却水供給室と冷却水排出室が形成されており、冷却水流路の一端の開口部が、冷却水供給室に連通しており、かつ冷却水流路の他端の開口部が、冷却水排出室に連通している、単結晶製造装置。 【選択図】図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够在避免尺寸更大的情况下安全地制造高质量的单晶的单晶制造装置。解决方案：单晶制造装置的特征在于：旋转轴与至少一个 一个坩埚和一个晶种; 旋转轴具有冷却水通道; 冷却水通道的两端在旋转轴的外周具有开口部分; 与坩埚相反一侧的旋转轴的端部向外突出; 密封壳体通过三个或更多个环形填料安装在端部的外周; 在两个相邻的环形填料之间形成冷却水供应室和冷却水排出室; 冷却水通道一端的开口部与冷却水供给室连通， 冷却水通道另一端的开口部分与冷却水排放室相连通。图1
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公开(公告)号：JP2016132589A
公开(公告)日：2016-07-25
申请号：JP2015007535
申请日：2015-01-19
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
摘要： 【課題】種結晶ホルダの加工精度が低い場合であっても、種結晶を回転する際の偏心を抑制することのできる単結晶製造装置を提供する。 【解決手段】チャック部材は、筒形状を有し、逆円錐台凸状テーパ面が設けられ、かつ半径方向へ収縮可能にする複数の切り込み部が設けられ、押え部材は、筒形状を有し、逆円錐台凸状テーパ面に当接する逆円錐台凹状テーパ面が設けられ、締付け部材は、チャック部材と押え部材を収納する筒形状を有し、種結晶ホルダは、種結晶回転軸の側から順に、チャック部材、押え部材、及び締付け部材それぞれの貫通孔に挿通され、チャック部材の種結晶回転軸側の端面と種結晶回転軸のチャック部材側の端面とが当接され、押え部材の締付け部材側の端面と締付け部材の押え部材側の端面とが当接され、種結晶回転軸の外周は、締付け部材の内周と螺合される、単結晶製造装置。 【選択図】図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够抑制晶种旋转时的偏心率的单晶制造装置，即使在种子晶体保持器的工艺公差低的情况下也是如此。解决方案：圆柱形的卡盘构件具有凸出锥形 倒圆锥形截锥体，并且具有多个切割部分，以沿直径方向收缩。 圆柱形的压制构件具有与倒立的圆锥形锥体的凸锥接触的倒圆锥形锥体的凹形锥形。 紧固构件具有用于容纳卡盘构件和按压构件的圆筒形状。 籽晶保持器从籽晶旋转轴的顺序插入到卡盘构件的每个插入孔中，按压构件和紧固构件。 籽晶旋转轴侧的端面与卡盘部件侧的晶种旋转轴的端面接触，并且紧固部件侧的按压部件的端面在压接部处接触紧固部件的端面 会员方 籽晶旋转轴的外周与单晶生产装置中的紧固构件的内周螺纹连接。图1：
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公开(公告)号：JP2016132584A
公开(公告)日：2016-07-25
申请号：JP2015007222
申请日：2015-01-16
申请人： トヨタ自動車株式会社
发明人： 阿部 信平
摘要： 【課題】SiC単結晶成長中に、Si−C溶液面近傍で、常に所望の温度勾配となり、SiC単結晶の成長速度を低下させることのない、SiC単結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】CのSi溶液に種結晶を接触させてSiC単結晶を引き上げる、溶液法によるSiC単結晶の製造方法であって、種結晶を種結晶ホルダに連結し、前記種結晶ホルダに冷却機構を設置し、SiC単結晶の引き上げ量の増加に合わせて、前記冷却機構で前記種結晶ホルダの冷却を促進する、SiC単結晶の製造方法。 【選択図】図1
摘要翻译： 要解决的问题：为了提供在SiC单晶生长期间能够在Si-C溶液表面附近获得总是期望的温度梯度的SiC单晶的生产方法，并且不降低SiC单晶的生长速率 。解决方案：通过使晶种与C的Si溶液接触，通过用于提取SiC单晶的溶液法的SiC单晶的制造方法。在SiC单晶的制造方法中， 籽晶连接到籽晶保持器，并且冷却机构安装在籽晶保持器中，并且根据SiC单晶的上拉量的增加通过冷却机构加速晶种保持器的冷却 图1
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