【課題】試料の高解像度画像を作成するための顕微鏡検査方法を提供する。 【解決手段】方法は、励起後に統計学的にブリンキングを行うように発光ビームを放出する試料を構造化照明の少なくとも9通りの様々な照明状態(.o1〜.o9)により励起して発光させ、発光している試料を、各異なる照明状態のそれぞれにおいて、フラット・パネル検出器上に結像することにより、画像列(44.o1〜44.o9)を1つずつ得て、画像列内のそれぞれの画素の蛍光強度の変動を評価する1つのキュムラント関数46を利用して、光学的なイメージング分解能を超えて向上されたある1つの空間分解能を有する高解像度原画(53.o1〜53.o9)を1つずつ得て、各原画(53.o1〜53.o9)から、1回のフーリエ・フィルタリングを含む一定の演算処理42を通じて、向上されたある1つの空間分解能を有する該高解像度画像55を作成する。 【選択図】図5