【課題】複数のレーザービームを結合して高出力の合成レーザービームを得る。 【解決手段】レーザービーム照射装置が、それぞれが第1レーザービームを出射する複数のレーザー光源と、第1レーザービームが入射される入射面を有し、第1レーザービームにそれぞれに対応する第2レーザービームを出射する集光光学系とを具備する。複数のレーザー光源は、第1レーザービームのビーム径が該入射面に向けて広がるように第1レーザービームを出射するように構成されている。第1レーザービームのそれぞれは、集光光学系の入射面において、他の少なくとも一のレーザービームに重なり合っている。集光光学系は、第2レーザービームのいずれについても、ビーム径が目標面において最小になり、且つ、該目標面における第2レーザービームの中心から光軸までの距離が、第2レーザービームのそれぞれのビーム半径よりも小さくなるように構成されている。 【選択図】図1