走査プローブ(4)を担持する工作機械(2)を用いて、物体(6、41)を測定するための技術が記載されている。工作機械は、物体(41)に対して予めプログラムされた走査経路(50)に沿って走査プローブ(4)を駆動するように配置され、そして走査プローブ(4)は、走査経路(50)が横切られている間に、走査プローブに対する物体の表面の空間的関係を記述するプローブデータ(60)を収集するように配置されている。記載された方法は、プローブデータ(60)を収集しながら走査プローブ(4)を走査経路(50)に沿って駆動すること、および物体(41)の並進および/または回転および/またはスケーリングからなる物体のオフセット(V)を決定するためにそのプローブデータ(60)を分析することを備えている。次に、走査経路(50)は、物体(41)に対して既知の量だけ並進および/または回転および/またはスケーリングされ、物体のオフセットを再決定するべく、データ収集および分析が繰り返される。次いで、再決定されたオフセットと、物体(41)に対する走査経路(50)の適用された並進および/または回転および/またはスケーリングから生じると予想されるオフセットとの間の差を記述する誤差マップまたは関数が確立される。誤差マップまたは関数は、物体(41)と名目上同一の他の物体の測定に使用されてもよい。