发明专利

基材吸着装置
摘要:
【課題】ロールツーロールで連続搬送される基材をシワなく吸着固定することが可能な基材吸着装置を提供する。 【解決手段】部分剥離部材15を有し、部分剥離部材15の基材Wと接触する面は、基材Wの幅方向における基材Wと接触する部分の間に底部15aを備え底部15aから基材Wの端部との接触位置に近づくほど位置が高くなる形状を有し、部分剥離部材15が部分剥離位置まで上昇したとき底部15aは吸着面111より位置が高く、部分剥離部材15は、一度吸着面111の全面が基材Wを吸着した後、部分剥離位置まで上昇し、その後基材Wと離間するまで下降する。 【選択図】図4
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