Invention Patent
- Patent Title: 強誘電体膜の製造装置及び強誘電体膜の製造方法
- Patent Title (English): Method of manufacturing a ferroelectric film manufacturing apparatus and a ferroelectric film of
-
Application No.: JP2014509067Application Date: 2013-01-29
-
Publication No.: JP6149222B2Publication Date: 2017-06-21
- Inventor: 木島 健 , 本多 祐二 , 白土 武
- Applicant: 株式会社ユーテック
- Applicant Address: 千葉県流山市西平井956番地の1
- Assignee: 株式会社ユーテック
- Current Assignee: 株式会社ユーテック
- Current Assignee Address: 千葉県流山市西平井956番地の1
- Agent 柳瀬 睦肇; 渡部 温
- Priority: JP2012087809 2012-04-06
- International Application: JP2013051846 JP 2013-01-29
- International Announcement: WO2013150812 JP 2013-10-10
- Main IPC: C30B29/32
- IPC: C30B29/32 ; H01L41/43 ; H01L41/318 ; H01L41/319 ; H01L21/8246 ; H01L27/105 ; C30B1/02
Public/Granted literature
- JPWO2013150812A1 強誘電体膜の製造装置及び強誘電体膜の製造方法 Public/Granted day:2015-12-17
Information query
IPC分类:
