Invention Patent
- Patent Title: 半導体光導波路素子及びその製造方法
- Patent Title (English): JP6294092B2 - Semiconductor optical waveguide device and a manufacturing method thereof
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Application No.: JP2014023310Application Date: 2014-02-10
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Publication No.: JP6294092B2Publication Date: 2018-03-14
- Inventor: 馬場 威 , 秋山 傑 , 中村 隆宏
- Applicant: 富士通株式会社 , 日本電気株式会社
- Applicant Address: 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番1号
- Assignee: 富士通株式会社,日本電気株式会社
- Current Assignee: 富士通株式会社,日本電気株式会社
- Current Assignee Address: 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番1号
- Agent 土井 健二; 林 恒徳; 眞鍋 潔
- Main IPC: G02B6/136
- IPC: G02B6/136 ; G02F1/025 ; G02B6/12
Public/Granted literature
- JP2015152615A 半導体光導波路素子及びその製造方法 Public/Granted day:2015-08-24
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