Invention Patent
- Patent Title: 走査光学装置
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Application No.: JP2015028945Application Date: 2015-02-17
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Publication No.: JP6584087B2Publication Date: 2019-10-02
- Inventor: 永利 潤 , 太田 充広
- Applicant: キヤノン株式会社
- Applicant Address: 東京都大田区下丸子3丁目30番2号
- Assignee: キヤノン株式会社
- Current Assignee: キヤノン株式会社
- Current Assignee Address: 東京都大田区下丸子3丁目30番2号
- Agent 阿部 琢磨; 黒岩 創吾
- Main IPC: G02B26/12
- IPC: G02B26/12 ; B41J2/47 ; H04N1/113 ; H01L31/02 ; G02B26/10
Public/Granted literature
- JP2016151667A 走査光学装置 Public/Granted day:2016-08-22
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