ターゲットの機械加工において、ターゲット表面における凹凸の発生が抑制でき、成膜時の異常放電の発生を抑制するとともに、被処理材へのドロップレットの付着抑制も同時に達成できる、新規なV合金ターゲットを提供する。 VおよびMoで構成され、エロージョン面におけるビッカース硬さの平均値が250〜350HVであり、5点の測定点で測定を行なったビッカース硬さのばらつきが20%以下であるV合金ターゲットであり、ビッカース硬さは270〜340HVの範囲にあることが好ましく、Moを10〜50原子%含有し、残部がVおよび不可避的不純物からなることがより好ましい。