V合金ターゲット
    9.
    发明专利

    公开(公告)号:JP6778409B1

    公开(公告)日:2020-11-04

    申请号:JP2020533300

    申请日:2020-03-02

    摘要: ターゲットの機械加工において、ターゲット表面における凹凸の発生が抑制でき、成膜時の異常放電の発生を抑制するとともに、被処理材へのドロップレットの付着抑制も同時に達成できる、新規なV合金ターゲットを提供する。 VおよびMoで構成され、エロージョン面におけるビッカース硬さの平均値が250〜350HVであり、5点の測定点で測定を行なったビッカース硬さのばらつきが20%以下であるV合金ターゲットであり、ビッカース硬さは270〜340HVの範囲にあることが好ましく、Moを10〜50原子%含有し、残部がVおよび不可避的不純物からなることがより好ましい。

    Mo合金ターゲット材およびその製造方法

    公开(公告)号:JP2020158881A

    公开(公告)日:2020-10-01

    申请号:JP2020038881

    申请日:2020-03-06

    IPC分类号: C22C1/04 C22C27/04 C23C14/34

    摘要: 【課題】 チャッキングやボンディングなどのハンドリングにおけるターゲット材の変形や切削工具のチップの摩耗や破損を抑制することに加え、スパッタ時の異常放電の抑制も同時に達成できるFPD等の製造に有用なMo合金ターゲット材を提供する。 【解決手段】 Niを10〜49原子%、Nbを1〜30原子%含有し、且つNiとNbの合計量が50原子%以下で、残部がMoおよび不可避的不純物からなり、ビッカース硬さが290〜460HVであり、そのばらつき[(最大値−最小値)/(最大値+最小値)]×100(%)が20%以下であるMo合金ターゲット材。 【選択図】 図1