電子吸引性基含有単量体及びその製造法
摘要:
本発明の電子吸引性基含有単量体は、下記式(a)、(b)又は(c)(式中、A1、A2、A3は環を示し、Ra、Rb、Rc、Ruは、同一又は異なって、水素原子又は有機基を示す。Rs、Rw及びRvのうち少なくとも1つ、Rt及びRw1のうち少なくとも1つ、2つのRw2のうち少なくとも1つは、それぞれ電子吸引基を示し、残りは水素原子又は有機基を示す。W1は単結合又は連結基を示し、nは2〜25の整数を示す。Ra、Rb、Rc、Rs、Rt、Ru、Rv、Rw、Rw1、Rw2、W1、A1環を構成する炭素原子、A2環を構成する炭素原子、A3環を構成する炭素原子は、それぞれ2以上が結合して環を形成していてもよい)で表される。前記Rs、Rt、Rv、Rw、Rw1、Rw2における電子吸引性基は、例えばフッ素原子含有基である。この単量体はフォトレジスト用高分子化合物の原料として有用である。
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