Invention Patent
- Patent Title: ゲッタ材料およびそれを用いた蒸発型ゲッタ装置並びに電子管
- Patent Title (English): Getter material and evaporable getter device and an electron tube using the same
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Application No.: JP2007500401Application Date: 2005-01-27
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Publication No.: JPWO2006080091A1Publication Date: 2008-06-19
- Inventor: 宏道 堀江 , 宏道 堀江 , 福田 悦幸 , 悦幸 福田 , 寛正 加藤 , 寛正 加藤 , 信昭 中島 , 信昭 中島 , 泰久 牧野 , 泰久 牧野
- Applicant: 株式会社東芝 , 東芝マテリアル株式会社
- Assignee: 株式会社東芝,東芝マテリアル株式会社
- Current Assignee: 株式会社東芝,東芝マテリアル株式会社
- Priority: JP2005001547 2005-01-27
- Main IPC: B01J20/02
- IPC: B01J20/02 ; H01J29/94
Abstract:
Ba−Al合金粉末とNi粉末とから成る圧粉混合体から構成されたゲッタ材料であり、このゲッタ材料を真空中または不活性ガス中で加熱した場合に、上記圧粉混合体が発熱反応を開始する温度が750℃以上900℃以下の範囲であることを特徴とするゲッタ材料である。このゲッタ材料によれば、圧粉混合体が発熱反応を開始する温度が750℃以上900℃以下の範囲に規定されているために、ゲッタ成分の蒸発量を過不足なく安定した状態で適正に制御することが可能となり、また加熱開始からゲッタ成分が蒸発を開始するまでの時間が短く応答性に優れたゲッタ材料および蒸発型ゲッタ装置が得られる。またゲッタ材料を充填する金属容器が変形したり溶融することが無く、ゲッタ材料の加熱蒸発工程時間を短くでき電子管が所定の真空度を得るまでの時間が短く応答性に優れた蒸発型ゲッタ装置が得られる。
Public/Granted literature
- JP5049775B2 Evaporation type getter device and the electron tube using the same Public/Granted day:2012-10-17
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