发明专利

パワー半導体用アルミニウムワイヤ及び該アルミニウムワイヤを用いた半導体装置、並びに該アルミニウムワイヤの探索方法
摘要:
パワー半導体デバイスの動作温度の上昇に対して、従来以上の高信頼性を有するボンディング接続部を実現できるボンディングAlワイヤ及び該Alワイヤを用いた半導体装置、並びに該Alワイヤの探索方法を提供する。本発明のボンディングAlワイヤは、アルミニウム合金からなり、室温から300℃の温度範囲で実測される応力と歪との関係を示す曲線(応力−歪線図)において、該応力−歪線図の降伏後の線図から真応力の差分(Δρt)と真歪の差分(Δεt)との比(Δρt/Δεt)を算出することによって降伏後の真歪に対する真応力の傾きとして求められる接線係数TCが300MPa/%以上、好ましくは400MPa/%以上である。前記の接線係数TCが300MPa/%以上であるAl合金を選択する方法は、簡便で効率的な高信頼性ボンディングAlワイヤの探索方法として適用できる。
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