Invention Patent
JPWO2014050307A1 弾性波装置及びその製造方法 有权
声波装置及其制造方法

弾性波装置及びその製造方法
Abstract:
弾性波素子部分間の電磁界結合を抑制し得る弾性波装置を提供する。圧電基板2上に、第1の電極構造3及び第2の電極構造4が形成されており、第1の電極構造3及び第2の電極構造4により、それぞれ、第1,第2の弾性波素子部分が構成されており、第1の弾性波素子部分及び第2の弾性波素子部分を囲むように圧電基板2上に支持枠11が形成されており、該支持枠11は、第1の弾性波素子部分と第2の弾性波素子部分とを区画する仕切り壁部11aを有し、該仕切り壁部11aに設けた溝に、導電性材料からなるシールド電極22が設けられている、弾性波装置1。
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