Invention Patent
- Patent Title: レーザ装置及び極端紫外光生成装置
- Patent Title (English): Laser device and an extreme ultraviolet light generating device
- Patent Title (中): 激光装置和极紫外光产生装置
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Application No.: JP2014559531Application Date: 2013-12-25
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Publication No.: JPWO2014119198A1Publication Date: 2017-01-26
- Inventor: 崇 菅沼 , 崇 菅沼 , 鈴木 徹 , 徹 鈴木 , 貴久 藤巻 , 貴久 藤巻 , 義明 黒澤 , 義明 黒澤
- Applicant: ギガフォトン株式会社
- Applicant Address: 栃木県小山市大字横倉新田400番地
- Assignee: ギガフォトン株式会社
- Current Assignee: ギガフォトン株式会社
- Current Assignee Address: 栃木県小山市大字横倉新田400番地
- Agent 特許業務法人つばさ国際特許事務所
- Priority: JP2013017271 2013-01-31
- Main IPC: H01S3/10
- IPC: H01S3/10 ; G03F7/20 ; H01S3/00 ; H01S3/23
Abstract:
パルスレーザ光を出射するマスターオシレータと、前記パルスレーザ光の光路上に配置された前記パルスレーザ光を増幅する増幅器と、前記パルスレーザ光の光路上における前記マスターオシレータと前記増幅器との間に配置され、前記パルスレーザ光を透過し、前記パルスレーザ光の波長を除く波長の光の透過を抑制する波長フィルタと、を備えてもよい。
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