公开(公告)号：JPWO2016098543A1

公开(公告)日：2017-09-28

申请号：JP2016564756

申请日：2015-11-25

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 鈴木　徹 ,  徹 鈴木 ,  崇 菅沼 ,  崇 菅沼 ,  明大 高山 ,  明大 高山 ,  義明 黒澤 ,  義明 黒澤

IPC: G03F7/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10 ,  H05G2/00

CPC classification number: H01S3/10 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H01S3/00 ,  H01S5/005 ,  H05G2/00 ,  H05G2/008

Abstract: 極端紫外光生成装置におけるビーム調節装置は、パルスレーザ光の光路上に配置された、第1凹面ミラーと第1凸面ミラーとからなる第1組と、パルスレーザ光の光路上で第1組より下流において、第1凹面ミラーと第1凸面ミラーの配置順序とは逆に配置された、第2凹面ミラーと第2凸面ミラーとからなる第2組と、第1凹面ミラーと第1凸面ミラーとの間の距離、及び、第2凹面ミラーと第2凸面ミラーとの間の距離を、同時に増加または同時に減少させる方向に変化させる移動装置と、を含んでもよい。

公开(公告)号：JPWO2016125295A1

公开(公告)日：2017-11-09

申请号：JP2016573151

申请日：2015-02-06

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 能史 植野 ,  能史 植野 ,  崇 菅沼 ,  崇 菅沼 ,  義明 黒澤 ,  義明 黒澤

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10

CPC classification number: H05G2/008 ,  G01J1/0238 ,  G01J1/0403 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0448 ,  G01J1/4257 ,  G02B26/0816 ,  H01S3/005

Abstract: ビームデリバリシステムは、レーザ装置から出力されたパルスレーザ光の発散角を調節する複数のビーム調節器と、複数のビーム調節器における最下流の第1ビーム調節器から出力されたパルスレーザ光の一部をサンプル光として分岐するビームサンプラと、サンプル光を受光してモニタ径を出力するビームモニタと、モニタ径に基づいて複数のビーム調節器を制御するビーム伝送制御部と、を含み、ビーム伝送制御部は、ビームモニタによるモニタ径が第1ビーム調節器以外の複数のビーム調節器それぞれに対応する所定値となるように、第1ビーム調節器以外の複数のビーム調節器それぞれを上流側から順次調整し、パルスレーザ光がターゲット位置より下流に集光するように第1ビーム調節器を調整してもよい。

公开(公告)号：JPWO2015118687A1

公开(公告)日：2017-03-23

申请号：JP2015561139

申请日：2014-02-10

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 義明 黒澤 ,  義明 黒澤

IPC: H01S3/10 ,  H01S3/00 ,  H01S3/23

CPC classification number: H05G2/008 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/034 ,  H01S3/1003 ,  H01S3/115 ,  H01S3/2232 ,  H01S3/2316 ,  H01S3/2325 ,  H05G2/003

Abstract: 本開示の1つの観点のレーザ装置は、レーザ光を出力するオシレータと、前記オシレータから出力されたレーザ光を、スラブ状の光増幅領域を通過させることで増幅して出力するスラブ型光増幅器と、前記スラブ型光増幅器に入力されるレーザ光又は前記スラブ型光増幅器から出力されるレーザ光の光路上に配置され、前記スラブ型光増幅器におけるレーザ進行面と平行な方向において移動するミラーと、を含んでもよい。本レーザ装置は、スラブ型光増幅器における光路変化を補正し得る。

公开(公告)号：JPWO2015045102A1

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：JP2015538742

申请日：2013-09-27

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 義明 黒澤 ,  康文 川筋

IPC: H01S3/02 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/23 ,  H05G2/00

CPC classification number: H01S3/2316 ,  G03F7/70041 ,  H01S3/005 ,  H01S3/034 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/107 ,  H01S3/2232 ,  H01S2301/02 ,  H05G2/003 ,  H05G2/005 ,  H05G2/008

Abstract: 本開示の一例は、レーザ装置である。レーザ装置は、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に配置され、パルスレーザ光を順次増幅する複数の光増幅器とを含んでもよい。レーザ装置は、さらに、パルスレーザ光を通過させ複数の光増幅器のいずれかで発生した自励発振光を反射する光反射体と、光反射体によって反射された自励発振光を受光し吸収する光吸収体と、を含んでもよい。

Abstract translation: 本公开的一个实例是激光装置。 的激光装置包括用于输出一个脉冲激光束设置在从所述主振荡器输出的脉冲激光束的光学路径上可包括用于顺序地放大脉冲激光束的多个光放大器的主振荡器。 所述激光装置还包括用于通过脉冲激光束通过，用于接收和吸收由光反射器反射的自振荡光反射中的任何一种多个光放大器产生的自激振荡光的光反射 光吸收体可以包括。

公开(公告)号：JPWO2014119198A1

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：JP2014559531

申请日：2013-12-25

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 崇 菅沼 ,  崇 菅沼 ,  鈴木　徹 ,  徹 鈴木 ,  貴久 藤巻 ,  貴久 藤巻 ,  義明 黒澤 ,  義明 黒澤

IPC: H01S3/10 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/23

CPC classification number: H05G2/008 ,  G02F1/0136 ,  G02F1/09 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/0085 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/2232 ,  H01S3/2316 ,  H01S2301/02 ,  H05G2/003

Abstract: パルスレーザ光を出射するマスターオシレータと、前記パルスレーザ光の光路上に配置された前記パルスレーザ光を増幅する増幅器と、前記パルスレーザ光の光路上における前記マスターオシレータと前記増幅器との間に配置され、前記パルスレーザ光を透過し、前記パルスレーザ光の波長を除く波長の光の透過を抑制する波長フィルタと、を備えてもよい。

Abstract translation: 主振荡器之间设置在脉冲激光束的光路发射脉冲激光，用于放大其设置在脉冲激光的光的光路径上的脉冲激光束的放大器，并且主振荡器和放大器 是，通过波长滤波器发送的脉冲激光抑制具有比脉冲激光束的波长以外的波长的光的透射，可以被提供。