磁気検出装置およびその製造方法
Abstract:
小型化・薄型化を図れる磁気検出装置を提供することを目的とする。本発明の磁気検出装置(1)は、基板(S)と、基板の一面側に配設され、延在する第1軸方向の外部磁場成分に感応する第1感磁ワイヤー(W1)と第1感磁ワイヤーを周回する第1検出コイル(C1)とからなる第1マグネトインピーダンス素子(MI素子)とを備える。本発明に係る第1検出コイルは、第1感磁ワイヤーに沿って並存する左側コイル部(C11)と右側コイル部(C12)とからなり、さらに、左側コイル部と右側コイル部の中間上で基板の他面側または該基板内に少なくとも一部が配設されて基板に交差する第3軸方向の外部磁場成分を第1軸方向の測定磁場成分へ変向し得る軟磁性材からなる磁場変向体(F1)を備える。そして、左側コイル部から得られる左側出力と右側コイル部から得られる右側出力とに基づいて第3軸方向の外部磁場成分が検出され得る。
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