熱処理装置
摘要:
よりコンパクトな構成を実現できる熱処理装置を提供する。熱処理装置1は、被処理物100に冷媒を供給する冷媒通路48を形成するための、冷媒通路形成体42を有している。冷媒通路形成体42は、複数の冷媒通路形成部材としての上側部材50および下側部材49を含み、これらの部材49,50が搬送方向と交差する上下方向Z1に沿って互いに接近するように変位することで、被処理物100を収容した状態で冷媒通路48を形成するように構成されている。また、上記部材49,50が上下方向Z1に沿って互いに離隔するように変位することで、冷媒通路48に対する搬送方向A1に沿った被処理物100の出し入れを許容するように構成されている。
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