세라믹스 재료, 반도체 제조 장치용 부재, 스퍼터링 타겟 부재 및 세라믹스 재료의 제조 방법
摘要:
본발명의세라믹스재료는, 마그네슘, 알루미늄, 산소및 질소를주성분으로하는세라믹스재료로서, 산화마그네슘에질화알루미늄이고용된 MgO-AlN 고용체의결정상을주상으로하는것이다. MgO-AlN 고용체는, CuKα선을이용했을때의 (200)면및 (220)면의 XRD 피크가각각산화마그네슘의입방정의피크와질화알루미늄의입방정의피크사이인 2θ=42.9˚∼44.8˚, 62.3˚∼65.2˚에나타나는것으로하는것이바람직하고, (111)면의 XRD 피크가산화마그네슘의입방정의피크와질화알루미늄의입방정의피크사이인 2θ=36.9˚∼39˚에나타나는것으로하는것이바람직하다.
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