레이저 가공방법 및 레이저 가공장치
摘要:
금속층(102)에보호층(104)이적층된가공대상물(100)을, 단펄스레이저(L2)를적어도조사하는레이저가공헤드를이용하여, 가공대상물(100)을가공하는레이저가공방법으로서, 보호층(104)에단펄스레이저(L2)를조사하여, 보호층(104)을절삭하는단펄스레이저가공공정과, 단펄스레이저가공공정에서절삭한영역의금속층(102)을절삭하는금속층가공공정에의하여, 고품질로또한고정밀도로가공하는것을가능하게한다.
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