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公开(公告)号:KR102381358B1
公开(公告)日:2022-03-30
申请号:KR1020150187406
申请日:2015-12-28
IPC分类号: B23K26/382 , B23K26/40 , B23K26/03 , H05K3/00 , B23K101/42
摘要: 본발명의목적은, 경험과숙련이필요한파라미터의변경을경감시키고, 기판을분리해내는일 없이구멍형상을확인하여, 최적조건의각 파라미터를손으로입력할필요가없는레이저구멍내기가공조건의설정방법및 레이저가공기를제공하는데 있다. 상기의목적을달성하기위해, 본발명은, 적어도, 가공영역의중심부, 네군데의코너부의 5개소에테스트영역을설치하고, 각테스트영역에가공조건이상이한 16개이상의구멍의세트를가공하여, 각테스트영역의동일한가공조건으로형성한구멍의직경, 형상, 위치를다른가공조건으로형성한구멍의그것과비교하여최적의구멍내기가공조건을선정한다.
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公开(公告)号:KR102226678B1
公开(公告)日:2021-03-10
申请号:KR1020187010932
申请日:2001-09-13
申请人: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
摘要: 본발명은가공대상물의표면에용융이나절단예정라인으로부터벗어난갈라짐이생기지않고가공대상물을절단할수 있는절단방법, 가공대상물절단방법및 광투과성재료절단방법을제공한다. 다광자흡수를일으키게하는조건으로또한가공대상물(1)의내부에집광점(P)을맞추어, 펄스레이저광(L)을가공대상물(1)의표면(3)의절단예정라인(5)에조사하고있다. 집광점(P)을절단예정라인(5)에따라이동시킴으로써, 개질영역을절단예정라인(5)에따르도록가공대상물(1)의내부에형성하고있다. 개질영역을기점으로하여절단예정라인(5)에따라가공대상물(1)을나눔으로써, 비교적작은힘으로가공대상물(1)을절단할수 있다. 이레이저광(L)의조사에있어서, 가공대상물(1)의표면(3)에서는펄스레이저광(L)이거의흡수되지않기때문에, 개질영역형성이원인이되어표면(3)이용융하지않는다.
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公开(公告)号:KR20210015891A
公开(公告)日:2021-02-10
申请号:KR20207037105
申请日:2020-03-04
IPC分类号: C09J7/22 , B23K26/40 , B23K101/40 , B23K103/00
摘要: 단시간에충분히가열수축시킬수 있고, 커프폭을유지할수 있는유리가공용테이프를제공한다. 본발명의유리가공용테이프(10)는, 기재필름(11)과, 상기기재필름(11)의적어도일면측에형성된점착제층(12)을갖는점착테이프(15)를가지며, 상기점착테이프(15)는, MD 방향에있어서의열 기계특성시험기에의해승온시에측정한 40℃내지 80℃사이의 1℃마다의열변형율의평균값과, TD 방향에있어서의열 기계특성시험기에의해승온시에측정한 40℃내지 80℃사이의 1℃마다의열변형율의평균값의합이마이너스값이고, 점착테이프(15)를확장하는익스팬드공정을포함하는유리의가공에사용되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号:KR102182426B1
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:KR20140058770
申请日:2014-05-16
IPC分类号: B23K26/40 , B23K26/067 , B28D5/00 , H01L21/301
摘要: (과제) 패턴이있는기판을양호하게개편화할수 있는가공조건설정방법을제공한다. (해결수단) 단위펄스광에의해패턴이있는기판에형성되는가공흔이가공예정선을따라이산적으로위치하도록레이저광을조사하고, 각각의가공흔으로부터균열을신전시키는균열신전가공에의해패턴이있는기판을개편화할때의가공조건설정방법이, 패턴이있는기판중 패턴형성면의반대면의일부개소를오프셋조건설정용의균열신전가공인가(假)가공의실행개소로서설정하는공정과, 가가공을행하는공정과, 가가공의전후에있어서, IR광을조명광으로하고패턴형성면에초점을맞추어가가공실행개소를촬상하고, 얻어진제1 및제2촬상화상에대해서가가공시의가공방향을따라화소값을적산함으로써얻어지는제1 및제2 화소값프로파일의차분값프로파일을이용하여, 레이저광의조사위치의오프셋방향을특정하는공정을구비한다.
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公开(公告)号:KR102064697B1
公开(公告)日:2020-01-09
申请号:KR1020187036745
申请日:2015-01-26
申请人: 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤
IPC分类号: B23K26/062 , B23K26/0622 , B23K26/082 , B23K26/21 , B23K26/32 , B23K26/34 , B23K26/38 , B23K26/40 , H01S5/42
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公开(公告)号:KR101902084B1
公开(公告)日:2018-09-27
申请号:KR1020167003704
申请日:2015-01-26
申请人: 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤
IPC分类号: B23K26/0622 , B23K26/388 , B23K26/40 , B23K103/16
CPC分类号: B23K26/0622 , B23K26/0613 , B23K26/356 , B23K26/388 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2101/001 , B23K2103/172
摘要: 금속층(102)에보호층(104)이적층된가공대상물(100)을, 단펄스레이저(L2)를적어도조사하는레이저가공헤드를이용하여, 가공대상물(100)을가공하는레이저가공방법으로서, 보호층(104)에단펄스레이저(L2)를조사하여, 보호층(104)을절삭하는단펄스레이저가공공정과, 단펄스레이저가공공정에서절삭한영역의금속층(102)을절삭하는금속층가공공정에의하여, 고품질로또한고정밀도로가공하는것을가능하게한다.
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公开(公告)号:KR101857184B1
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:KR1020160058910
申请日:2016-05-13
申请人: (주)엔에스
IPC分类号: B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/16 , B23K26/70 , B23K37/04 , B65H23/26 , B65H35/10 , B23K101/16
摘要: 본발명은, 금속필름을슬리팅하기위한슬리팅장치에관한것으로서, 상기금속필름의중간부와대응하도록설치되며, 비자성을갖는비자성부와, 상기금속필름의측단부와대응하도록설치되며, 상기금속필름의측단부에인력을인가가능하도록자성을갖는자성부를구비하며, 상기금속필름을미리정해진이동경로를따라이동하도록안내하는가이드롤러; 및레이저빔을상기금속필름에조사하여상기금속필름을슬리팅하는레이저헤드;를포함한다. 이러한본 발명에의하면, 금속필름이가이드롤러에밀착된상태로가이드롤러를통과할수 있도록금속필름에인력을인가가능한자성구조를가이드롤러에도입해금속필름의진동을방지함으로써, 금속필름을레이저빔의초점위치에안정적으로배치하여금속필름의슬리팅품질을향상시킬수 있다.
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公开(公告)号:KR20180045064A
公开(公告)日:2018-05-03
申请号:KR20187011665
申请日:2010-03-19
IPC分类号: B23K26/40 , B23K26/00 , B23K101/40 , B23K103/00 , B28D1/22 , B28D5/00 , H01L21/78
CPC分类号: H01L21/78 , B23K26/0057 , B23K26/40 , B23K2201/40 , B23K2203/50 , B28D1/221 , B28D5/0011
摘要: 가공대상물(1)의내부에집광점을맞추고, 절단예정라인(5a)을따라서레이저광 L을조사함으로써개질영역(7a)을형성한다. 그후, 절단예정라인(5a)을따라서레이저광 L을재차조사함으로써, 가공대상물(1)에있어서표면(3)과제1 개질영역(7a)의사이에개질영역(7b)을형성함과아울러, 개질영역(7b)으로부터표면(3)에이르는균열(Cb)을발생시킨다. 따라서가공대상물(1)에있어서개질영역(7a)을형성할때에발생하는휨력을, 균열(Cb)에의해서해방하여상쇄시킬수 있다. 그결과, 가공대상물(1)의휨을억제할수 있다.
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10.극초단 집속된 펄스 레이저 방사선에 의해 정렬된 선형 파단점을 생성시키는 방법, 및 보호 기체 대기를 사용하여 극초단 집속된 레이저 방사선에 의해 워크피스를 분리하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译: 用于产生由超短聚焦脉冲激光辐射对准的线性断裂点并用于通过使用保护性气体气氛的超短聚焦激光辐射来分离工件的方法和装置公开(公告)号:KR101778418B1
公开(公告)日:2017-09-13
申请号:KR1020157015778
申请日:2013-11-08
申请人: 쇼오트 아게
发明人: 올트너안드레아스 , 하베크안드레아스 , 게르슈트너클라우스 , 하젤호르슈트게오르그 , 바그너파비앙
CPC分类号: C03B33/0222 , B23K26/0057 , B23K26/0624 , B23K26/08 , B23K26/083 , B23K26/123 , B23K26/127 , B23K26/14 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K2201/18 , B23K2203/50 , B23K2203/52 , B23K2203/54 , B28D5/0011
摘要: 본발명은투명워크피스(2)를분리하기위해제법을제공한다. 그워크피스에대하여횡으로연장되는정렬된필라멘트형성부(4, 5, 6)가의도된파단선(20)을따라극초단레이저펄스에의해발생된다. 그워크피스는후속단계에서분리된다.
摘要翻译: 本发明提供一种分离透明工件(2)的方法。 通过沿预定断裂线20的超流动激光脉冲产生相对于工件横向延伸的对齐的细丝形成部分4,5,6。 工件在后续步骤中分离。
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