发明授权
- 专利标题： 임프린트 방법 및 장치
- 专利标题（英）： IMPRINT METHOD AND APPARATUS
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申请号： KR1020167001312申请日： 2014-06-18
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公开(公告)号： KR101967966B1公开(公告)日： 2019-04-10
- 发明人: 이토도시키 , 요시다다카시 , 사토히토시 , 가와사키요오지 , 이이무라아키코 , 야마시타게이지 , 우에노다케히코
- 申请人： 캐논 가부시끼가이샤
- 申请人地址： **-*, Shimomaruko *-chome, Ohta-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人： 캐논 가부시끼가이샤
- 当前专利权人： 캐논 가부시끼가이샤
- 当前专利权人地址： **-*, Shimomaruko *-chome, Ohta-ku, Tokyo, Japan
- 代理商 장수길; 이중희
- 优先权： JPJP-P-2013-133541 2013-06-26; JPJP-P-2014-121911 2014-06-12
- 国际申请： PCT/JP2014/066753 2014-06-18
- 国际公布： WO2014208571 2014-12-31
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00 ; B29C59/02
公开/授权文献
- KR1020160021274A 임프린트 방법 및 장치 公开/授权日：2016-02-24
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