公开(公告)号：KR100914912B1

公开(公告)日：2009-08-31

申请号：KR1020070050109

申请日：2007-05-23

申请人： 캐논 가부시끼가이샤

发明人： 사토히토시 ,  사사키야스히토 ,  에모토케이지

IPC分类号： H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70858 ,  G03F7/70725

摘要： 스테이지 장치는, 베이스와, 상기 베이스에 접촉하는 일없이 상기 베이스를 따라 이동 가능한 스테이지 가동부와, 상기 스테이지 가동부의 위치를 계측하도록 구성된 간섭계와, 상기 스테이지 가동부에 접속된 배관 및 배선의 적어도 하나와, 상기 배관 또는 배선으로부터 상기 간섭계의 계측 광이 통과하는 공간으로 전해지는 열을 저감하도록 구성된 단열재 및 열 회수 유닛의 적어도 하나를 구비한다.

公开(公告)号：KR1020160003236A

公开(公告)日：2016-01-08

申请号：KR1020157034219

申请日：2014-05-02

申请人： 캐논 가부시끼가이샤

发明人： 이토도시키 ,  혼마다케시 ,  요네자와시오리 ,  사토히토시 ,  가와사키요오지

IPC分类号： C07C217/08 ,  C08F2/50 ,  C08J7/18 ,  C08K5/17 ,  G03F7/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/308 ,  H01L21/311

CPC分类号： C08F2/50 ,  C07C217/08 ,  C07C217/40 ,  G02B1/12 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/311 ,  H05K3/0076 ,  H05K3/0079 ,  H05K3/0082 ,  H05K3/30 ,  H05K2203/0548

摘要： 광경화성조성물의광경화속도를증가시키고경화물을몰드로부터이형하기위한힘을감소시키는화합물을제공한다. 화합물은하기화학식 1로나타내어진다. 상기식에서, R는적어도일부가플루오린으로치환된알킬기를나타내고, R는옥시알킬렌기또는옥시알킬렌기의반복구조를나타내고, N은질소원자를나타내고, R는알킬기를나타내고, R는알킬기또는수소원자를나타낸다.

公开(公告)号：KR101967966B1

公开(公告)日：2019-04-10

申请号：KR1020167001312

申请日：2014-06-18

申请人： 캐논 가부시끼가이샤

发明人： 이토도시키 ,  요시다다카시 ,  사토히토시 ,  가와사키요오지 ,  이이무라아키코 ,  야마시타게이지 ,  우에노다케히코

IPC分类号： G03F7/00 ,  B29C59/02

公开(公告)号：KR1020160021274A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：KR1020167001312

申请日：2014-06-18

申请人： 캐논 가부시끼가이샤

发明人： 이토도시키 ,  요시다다카시 ,  사토히토시 ,  가와사키요오지 ,  이이무라아키코 ,  야마시타게이지 ,  우에노다케히코

IPC分类号： G03F7/00 ,  B29C59/02

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B29C59/002 ,  B29C59/005 ,  B29C59/022 ,  B29C59/026 ,  B29K2033/08 ,  B29K2105/0005

摘要： 임프린트방법은피가공기재상에광경화성조성물을배치하고(배치공정), 응축성가스의분위기에서광경화성조성물및 몰드를서로접촉시키고(접촉공정), 몰드및 피가공기재를위치정렬하고(위치정렬공정), 광경화성조성물을광으로조사하여광경화된조성물을획득하고(광조사공정), 광조사공정이후광경화된조성물및 몰드를서로분리(이형공정)하는공정들을포함한다. 위치정렬공정도중광경화성조성물의막 두께는이형공정이후광경화된조성물의막 두께보다 20% 이상두껍다.

公开(公告)号：KR101811116B1

公开(公告)日：2017-12-20

申请号：KR1020157034219

申请日：2014-05-02

申请人： 캐논 가부시끼가이샤

发明人： 이토도시키 ,  혼마다케시 ,  요네자와시오리 ,  사토히토시 ,  가와사키요오지

IPC分类号： C07C217/08 ,  C08F2/50 ,  C08J7/18 ,  C08K5/17 ,  G03F7/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/308 ,  H01L21/311

CPC分类号： C08F2/50 ,  C07C217/08 ,  C07C217/40 ,  G02B1/12 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/311 ,  H05K3/0076 ,  H05K3/0079 ,  H05K3/0082 ,  H05K3/30 ,  H05K2203/0548

摘要： 광경화성조성물의광경화속도를증가시키고경화물을몰드로부터이형하기위한힘을감소시키는화합물을제공한다. 화합물은하기화학식 1로나타내어진다. 상기식에서, R는적어도일부가플루오린으로치환된알킬기를나타내고, R는옥시알킬렌기또는옥시알킬렌기의반복구조를나타내고, N은질소원자를나타내고, R는알킬기를나타내고, R는알킬기또는수소원자를나타낸다.

公开(公告)号：KR1020070113992A

公开(公告)日：2007-11-29

申请号：KR1020070050109

申请日：2007-05-23

申请人： 캐논 가부시끼가이샤

发明人： 사토히토시 ,  사사키야스히토 ,  에모토케이지

IPC分类号： H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70858 ,  G03F7/70725 ,  H01L21/0274

摘要： A stage device, an exposure device and a manufacturing method of a micro device are provided to improve a positioning accuracy of the stage and a exposure accuracy by reducing measuring error of a interference system according to a temperature variation. A stage driver(11) is able to be moved along a base(12) without contacting with the base. Interference systems(15,16,17) are constituted to measure a position of the stage driver. A stage driver comprises at least one pipe lines or wirings which are connected to the stage driver, and at least one heat insulating material or a heat reclamation unit which are composed to reduce the heat transmitting to a space where a measured light of the interference system is passed from the pipe lines and wirings.

摘要翻译： 提供了一种微型装置的舞台装置，曝光装置和制造方法，通过根据温度变化减小干涉系统的测量误差来提高舞台的定位精度和曝光精度。 舞台驱动器（11）能够沿着底座（12）移动而不与底座接触。 构成干涉系统（15,16,17）以测量舞台驾驶员的位置。 舞台驱动器包括至少一个连接到舞台驱动器的管线或布线，以及至少一个绝热材料或热回收单元，其被组合以减少热传递到干涉系统的测量光的空间 从管线和布线中通过。