发明公开
KR1020160021274A 임프린트 방법 및 장치 审中-实审
印刷方法和装置

임프린트 방법 및 장치
摘要:
임프린트방법은피가공기재상에광경화성조성물을배치하고(배치공정), 응축성가스의분위기에서광경화성조성물및 몰드를서로접촉시키고(접촉공정), 몰드및 피가공기재를위치정렬하고(위치정렬공정), 광경화성조성물을광으로조사하여광경화된조성물을획득하고(광조사공정), 광조사공정이후광경화된조성물및 몰드를서로분리(이형공정)하는공정들을포함한다. 위치정렬공정도중광경화성조성물의막 두께는이형공정이후광경화된조성물의막 두께보다 20% 이상두껍다.
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