发明公开
- 专利标题: 임프린트 방법 및 장치
- 专利标题(英): Imprint method and apparatus
- 专利标题(中): 印刷方法和装置
-
申请号: KR1020167001312申请日: 2014-06-18
-
公开(公告)号: KR1020160021274A公开(公告)日: 2016-02-24
- 发明人: 이토도시키 , 요시다다카시 , 사토히토시 , 가와사키요오지 , 이이무라아키코 , 야마시타게이지 , 우에노다케히코
- 申请人: 캐논 가부시끼가이샤
- 申请人地址: **-*, Shimomaruko *-chome, Ohta-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人: 캐논 가부시끼가이샤
- 当前专利权人: 캐논 가부시끼가이샤
- 当前专利权人地址: **-*, Shimomaruko *-chome, Ohta-ku, Tokyo, Japan
- 代理商 장수길; 이중희
- 优先权: JPJP-P-2013-133541 2013-06-26; JPJP-P-2014-121911 2014-06-12
- 国际申请: PCT/JP2014/066753 2014-06-18
- 国际公布: WO2014208571 2014-12-31
- 主分类号: G03F7/00
- IPC分类号: G03F7/00 ; B29C59/02
摘要:
임프린트방법은피가공기재상에광경화성조성물을배치하고(배치공정), 응축성가스의분위기에서광경화성조성물및 몰드를서로접촉시키고(접촉공정), 몰드및 피가공기재를위치정렬하고(위치정렬공정), 광경화성조성물을광으로조사하여광경화된조성물을획득하고(광조사공정), 광조사공정이후광경화된조성물및 몰드를서로분리(이형공정)하는공정들을포함한다. 위치정렬공정도중광경화성조성물의막 두께는이형공정이후광경화된조성물의막 두께보다 20% 이상두껍다.
公开/授权文献
- KR101967966B1 임프린트 방법 및 장치 公开/授权日:2019-04-10
信息查询