Invention Publication
KR1020160138081A 반도체장치, 적층형 반도체장치, 봉지후 적층형 반도체장치, 및 이들의 제조방법 审中-实审
半导体器件层状半导体器件密封型半导体器件及其制造方法

반도체장치, 적층형 반도체장치, 봉지후 적층형 반도체장치, 및 이들의 제조방법
Abstract:
본발명은, 반도체소자와, 반도체소자에전기적으로접속되는반도체소자상 금속패드및 금속배선을가지며, 금속배선이관통전극및 솔더범프에전기적으로접속되는반도체장치로서, 반도체소자가재치된제1 절연층과, 반도체소자상에형성된제2 절연층과, 제2 절연층상에형성된제3 절연층을가지며, 금속배선이, 제2 절연층의상면에서반도체소자상 금속패드를개재하여반도체소자에전기적으로접속되고, 제2 절연층의상면으로부터제2 절연층을관통하여제2 절연층의하면에서관통전극에전기적으로접속된것이고, 제1 절연층과반도체소자사이에반도체소자하 금속배선이배치되고, 반도체소자하 금속배선이, 제2 절연층의하면에서금속배선과전기적으로접속된반도체장치이다. 이에따라, 배선기판에의재치나반도체장치의적층이용이하고, 금속배선의밀도가큰 경우에도반도체장치의휨이억제된반도체장치가제공된다.
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