Invention Publication
- Patent Title: 반도체장치, 적층형 반도체장치, 봉지후 적층형 반도체장치, 및 이들의 제조방법
- Patent Title (English): Semiconductor device, layered semiconductor device, sealed-then-layered semiconductor device, and manufacturing methods therefor
- Patent Title (中): 半导体器件层状半导体器件密封型半导体器件及其制造方法
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Application No.: KR1020167027164Application Date: 2015-03-12
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Publication No.: KR1020160138081APublication Date: 2016-12-02
- Inventor: 타케무라,카츠야 , 소가,쿄코 , 아사이,사토시 , 콘도,카즈노리 , 수고,미치히로 , 카토,히데토
- Applicant: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
- Applicant Address: 일본 도꾜도 지요다꾸 오떼마치 *쪼메 *방 *고
- Assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
- Current Assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
- Current Assignee Address: 일본 도꾜도 지요다꾸 오떼마치 *쪼메 *방 *고
- Agent 특허법인씨엔에스
- Priority: JPJP-P-2014-071458 2014-03-31
- International Application: PCT/JP2015/001367 2015-03-12
- International Announcement: WO2015151417 2015-10-08
- Main IPC: H01L23/12
- IPC: H01L23/12 ; H01L23/498 ; H01L23/538 ; H01L25/10 ; H01L25/11 ; H01L25/18 ; C25D5/02 ; H05K1/11 ; H05K3/28 ; H05K3/40
Abstract:
본발명은, 반도체소자와, 반도체소자에전기적으로접속되는반도체소자상 금속패드및 금속배선을가지며, 금속배선이관통전극및 솔더범프에전기적으로접속되는반도체장치로서, 반도체소자가재치된제1 절연층과, 반도체소자상에형성된제2 절연층과, 제2 절연층상에형성된제3 절연층을가지며, 금속배선이, 제2 절연층의상면에서반도체소자상 금속패드를개재하여반도체소자에전기적으로접속되고, 제2 절연층의상면으로부터제2 절연층을관통하여제2 절연층의하면에서관통전극에전기적으로접속된것이고, 제1 절연층과반도체소자사이에반도체소자하 금속배선이배치되고, 반도체소자하 금속배선이, 제2 절연층의하면에서금속배선과전기적으로접속된반도체장치이다. 이에따라, 배선기판에의재치나반도체장치의적층이용이하고, 금속배선의밀도가큰 경우에도반도체장치의휨이억제된반도체장치가제공된다.
Public/Granted literature
- KR102338029B1 반도체장치, 적층형 반도체장치, 봉지후 적층형 반도체장치, 및 이들의 제조방법 Public/Granted day:2021-12-13
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