发明公开
- 专利标题: 노광 헤드, 노광 장치 및 노광 헤드 작동 방법
- 专利标题(英): Exposure head, exposure apparatus and method of operating an exposure head
- 专利标题(中): 暴露头暴露装置及操作接触头的方法
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申请号: KR1020167031712申请日: 2015-04-14
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公开(公告)号: KR1020160146820A公开(公告)日: 2016-12-21
- 发明人: 자마르,자코버스후베르투스테오도르 , 말데린크,헤르만헨드리쿠스 , 메인데르스,에르윈리나르도 , 기센,피터데오도러스마리아 , 반즈웻,에르윈존 , 스타르만스,헨리자크안트완진
- 申请人: 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오
- 申请人地址: Anna van Buerenplein *, NL-**** DA 's-Gravenhage, The Netherlands
- 专利权人: 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오
- 当前专利权人: 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오
- 当前专利权人地址: Anna van Buerenplein *, NL-**** DA 's-Gravenhage, The Netherlands
- 代理商 특허법인충현
- 优先权: EP141647461 2014-04-15
- 国际申请: PCT/NL2015/050249 2015-04-14
- 国际公布: WO2015160252 2015-10-22
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; G02B26/08 ; G02B26/12
摘要:
본발명은일 표면에광을조사하기위한노광장치용노광헤드에관한것으로, 상기노광헤드는하나이상의빔을제공하기위한하나이상의방사선소스와, 상기하나이상의빔을수광하고상기빔을상기표면을향해보내어각각의빔을충돌스폿(spot)에충돌시키도록배치되는광 스캐닝유닛과, 상기광 스캐닝유닛을적어도부분적으로회전시키기위해상기광 스캐닝유닛에연결되는회전작동유닛을포함하며, 상기하나이상의빔의상기충돌스폿은상기광 스캐닝유닛의상기적어도부분적인회전에의해상기표면을가로질러스캔되며, 상기광 스캐닝유닛은하나이상의패싯(facet)을구비한투광부재를포함하며, 상기패싯은상기하나이상의빔을수광하고상기투광부재를관통하여전달된상기빔을출사하며, 상기광 스캐닝유닛은상기충돌스폿의스캐닝이가능하도록상기투광부재의상기회전시에상기빔을변위시킨다.
公开/授权文献
- KR102393361B1 노광 헤드, 노광 장치 및 노광 헤드 작동 방법 公开/授权日:2022-05-03
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