发明公开
KR1020160146820A 노광 헤드, 노광 장치 및 노광 헤드 작동 방법 审中-实审
暴露头暴露装置及操作接触头的方法

노광 헤드, 노광 장치 및 노광 헤드 작동 방법
摘要:
본발명은일 표면에광을조사하기위한노광장치용노광헤드에관한것으로, 상기노광헤드는하나이상의빔을제공하기위한하나이상의방사선소스와, 상기하나이상의빔을수광하고상기빔을상기표면을향해보내어각각의빔을충돌스폿(spot)에충돌시키도록배치되는광 스캐닝유닛과, 상기광 스캐닝유닛을적어도부분적으로회전시키기위해상기광 스캐닝유닛에연결되는회전작동유닛을포함하며, 상기하나이상의빔의상기충돌스폿은상기광 스캐닝유닛의상기적어도부분적인회전에의해상기표면을가로질러스캔되며, 상기광 스캐닝유닛은하나이상의패싯(facet)을구비한투광부재를포함하며, 상기패싯은상기하나이상의빔을수광하고상기투광부재를관통하여전달된상기빔을출사하며, 상기광 스캐닝유닛은상기충돌스폿의스캐닝이가능하도록상기투광부재의상기회전시에상기빔을변위시킨다.
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