公开(公告)号：KR1020160146820A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：KR1020167031712

申请日：2015-04-14

申请人： 네덜란제 오르가니자티에 포오르 토에게파스트-나투우르베텐샤펠리즈크 온데르조에크 테엔오

发明人： 자마르,자코버스후베르투스테오도르 ,  말데린크,헤르만헨드리쿠스 ,  메인데르스,에르윈리나르도 ,  기센,피터데오도러스마리아 ,  반즈웻,에르윈존 ,  스타르만스,헨리자크안트완진

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B26/08 ,  G02B26/12

CPC分类号： G03F7/2051 ,  G02B26/0875 ,  G02B26/12 ,  G03F7/70391 ,  G03F7/704

摘要： 본발명은일 표면에광을조사하기위한노광장치용노광헤드에관한것으로, 상기노광헤드는하나이상의빔을제공하기위한하나이상의방사선소스와, 상기하나이상의빔을수광하고상기빔을상기표면을향해보내어각각의빔을충돌스폿(spot)에충돌시키도록배치되는광 스캐닝유닛과, 상기광 스캐닝유닛을적어도부분적으로회전시키기위해상기광 스캐닝유닛에연결되는회전작동유닛을포함하며, 상기하나이상의빔의상기충돌스폿은상기광 스캐닝유닛의상기적어도부분적인회전에의해상기표면을가로질러스캔되며, 상기광 스캐닝유닛은하나이상의패싯(facet)을구비한투광부재를포함하며, 상기패싯은상기하나이상의빔을수광하고상기투광부재를관통하여전달된상기빔을출사하며, 상기광 스캐닝유닛은상기충돌스폿의스캐닝이가능하도록상기투광부재의상기회전시에상기빔을변위시킨다.

摘要翻译： 本发明涉及一种在用于照射表面的曝光装置中使用的曝光头，该曝光头包括一个或多个用于提供一个或多个光束的辐射源，光学扫描单元被布置为接收一个或多个光束并用于引导 光束朝向表面，用于将每个光束撞击在冲击点上;旋转致动单元，连接到光学扫描单元，用于至少部分地旋转光学扫描单元，其中一个或多个光束的撞击点跨过 通过所述光学扫描单元的所述至少部分旋转，所述光学扫描单元包括透射元件，所述透射元件包括用于接收所述一个或多个光束的一个或多个刻面并且用于在将所述光束传送通过所述透射元件之后输出所述光束， 在所述透射元件旋转时，能够对冲击点进行扫描。