- 专利标题: 티타늄 기반 광센싱 와이어의 제조방법 및 광센싱 장치
- 专利标题(英): TITANIUM BASED UV SENSING WIRE AND DEVICE COMPRISNG THE UV SENSING WIRE
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申请号: KR20180042958申请日: 2018-04-12
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公开(公告)号: KR102173739B1公开(公告)日: 2020-11-03
- 发明人: 김상재 , 올루리나가말레스와라라오
- 申请人: 제주대학교 산학협력단
- 申请人地址: 제주특별자치도 제주시 제주...
- 专利权人: 제주대학교 산학협력단
- 当前专利权人: 제주대학교 산학협력단
- 当前专利权人地址: 제주특별자치도 제주시 제주...
- 代理商 김진동
- 优先权: KR20180042958 2018-04-12
- 主分类号: C23C8/40
- IPC分类号: C23C8/40 ; C23C8/02 ; C23C8/80 ; C23F1/26 ; H01L31/02 ; H01L31/18
摘要:
본발명은광센싱와이어의제조방법등에대한것으로, 티타늄을함유하는기본기재를산용액으로처리하여외표면이에칭된기본기재인 1차처리기재를마련하는 1차처리과정; 상기 1차처리기재를산화시켜표면거칠기가조절된 2차처리기재를마련하는 2차처리과정; 상기 2차처리기재를티타늄전구체용액내에침지하여화학적처리된화학처리기재를준비하는화학처리과정; 그리고상기화학처리기재를열처리하여상기기본기재상에이산화티타늄나노구조체가포함되는이산화티타늄기재층을포함하는광센싱와이어를마련하는열처리과정;을포함한다.
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