반도체 발광소자 제조방법
摘要:
본발명의일 실시예는, 제1 도전형반도체층을형성하는단계와, 상기제1 도전형반도체층상에복수의양자우물층과복수의양자장벽층을교대로형성함으로써활성층을형성하는단계와, 상기활성층상에제2 도전형반도체층을형성하는단계를포함하며, 상기복수의양자장벽층은, 상기제1 도전형반도체층에인접한적어도하나의제1 양자장벽층과, 상기제2 도전형반도체층에인접한적어도하나의제2 양자장벽층을포함하며, 상기활성층을형성하는단계는, 상기적어도하나의제1 양자장벽층을제1 온도로성장하는단계와, 상기적어도하나의제2 양자장벽층을상기제1 온도보다낮은제2 온도로성장하는단계를포함하는반도체발광소자제조방법을제공할수 있다.
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