发明授权
- 专利标题: 반도체 발광소자 제조방법
- 专利标题(英): KR102223037B1 - Method of fabricating semiconductor light emitting device
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申请号: KR1020140132546申请日: 2014-10-01
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公开(公告)号: KR102223037B1公开(公告)日: 2021-03-05
- 发明人: 한상헌 , 이동율 , 김승현 , 김장미 , 윤석호 , 이상준
- 申请人: 삼성전자주식회사
- 申请人地址: , Samsung-ro, Yeongtong-gu...
- 专利权人: 삼성전자주식회사
- 当前专利权人: 삼성전자주식회사
- 当前专利权人地址: , Samsung-ro, Yeongtong-gu...
- 代理商 특허법인씨엔에스
- 主分类号: H01L33/06
- IPC分类号: H01L33/06
摘要:
본발명의일 실시예는, 제1 도전형반도체층을형성하는단계와, 상기제1 도전형반도체층상에복수의양자우물층과복수의양자장벽층을교대로형성함으로써활성층을형성하는단계와, 상기활성층상에제2 도전형반도체층을형성하는단계를포함하며, 상기복수의양자장벽층은, 상기제1 도전형반도체층에인접한적어도하나의제1 양자장벽층과, 상기제2 도전형반도체층에인접한적어도하나의제2 양자장벽층을포함하며, 상기활성층을형성하는단계는, 상기적어도하나의제1 양자장벽층을제1 온도로성장하는단계와, 상기적어도하나의제2 양자장벽층을상기제1 온도보다낮은제2 온도로성장하는단계를포함하는반도체발광소자제조방법을제공할수 있다.
公开/授权文献
- KR1020160039754A 반도체 발광소자 제조방법 公开/授权日:2016-04-12
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