Invention Grant
- Patent Title: 레지스트 패턴의 형성 방법, 프린트 배선판의 제조 방법, 투영 노광용 감광성 수지 조성물 및 감광성 엘리먼트
- Patent Title (English): KR102234811B1 - Method for forming resist pattern, method for manufacturing printed wiring board, photosensitive resin composition for projection exposure and photosensitive element
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Application No.: KR1020167032492Application Date: 2014-12-17
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Publication No.: KR102234811B1Publication Date: 2021-03-31
- Inventor: 쿠메마사카즈 , 무나카타모모코
- Applicant: 쇼와덴코머티리얼즈가부시끼가이샤
- Applicant Address: *-*, Marunouchi *-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, ***-****, Japan
- Assignee: 쇼와덴코머티리얼즈가부시끼가이샤
- Current Assignee: 쇼와덴코머티리얼즈가부시끼가이샤
- Current Assignee Address: *-*, Marunouchi *-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, ***-****, Japan
- Agent 특허법인원전
- Priority: JPJP-P-2014-106946 2014-05-23
- International Application: PCT/JP2014/083421 2014-12-17
- International Announcement: WO2015177947 2015-11-26
- Main IPC: G03F7/032
- IPC: G03F7/032 ; G03F7/027 ; G03F7/028 ; G03F7/105 ; G03F7/20 ; G03F7/30 ; G03F7/00 ; H05K3/06 ; H05K3/16
Abstract:
레지스트형상이양호하고, 레지스트자락의발생을저감할수 있고, 또한밀착성및 애스펙트비가향상된레지스트패턴을형성할수 있는, 레지스트패턴의형성방법의제공을목적으로하고, 기판상에투영노광용감광성수지조성물을사용하여감광성수지층을형성하는공정과, 포토마스크의상(傷)을투영시킨활성광선을사용하여렌즈를통하여상기감광성수지층을노광하는공정과, 상기감광성수지층의미노광부를기판상으로부터현상에의해제거하는공정을포함하고, 상기투영노광용감광성수지조성물이, (A)바인더폴리머, (B)에틸렌성불포화결합을가지는광중합성화합물, 및 (C)광중합개시제를함유하고, 상기감광성수지층의파장 365nm에있어서의광투과율이, 58.0% 이상 95.0% 이하인, 레지스트패턴의형성방법을제공한다.
Public/Granted literature
- KR1020170010765A 레지스트 패턴의 형성 방법, 프린트 배선판의 제조 방법, 투영 노광용 감광성 수지 조성물 및 감광성 엘리먼트 Public/Granted day:2017-02-01
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