위치설정 시스템 및 리소그래피 장치
Abstract:
대상물을위치시키는위치설정시스템이개시된다. 위치설정시스템은스테이지, 균형질량체및 액추에이터시스템을포함한다. 스테이지는대상물을유지하기위한것이다. 액추에이터시스템은제 1 방향으로스테이지를구동하는한편, 제 1 방향과반대인제 2 방향으로균형질량체를구동하도록배치된다. 스테이지는이동범위내에서제 1 방향으로이동가능하다. 스테이지가제 1 방향으로이동하고있고이동범위의끝에있는경우, 위치설정시스템은스테이지를정면으로균형질량체에충돌시키도록배치된다.
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