Invention Grant
- Patent Title: 위치설정 시스템 및 리소그래피 장치
- Patent Title (English): KR102236187B1 - Positioning system and lithographic apparatus
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Application No.: KR1020197010594Application Date: 2017-08-31
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Publication No.: KR102236187B1Publication Date: 2021-04-06
- Inventor: 버스트란,크린,프레데릭 , 황,양-산 , 데그루트,안토니우스,프란치스코스,요하네스 , 김,민규 , 시몬스,제스터,앤,프리도,마리쿠스 , 루일,테오,안제스,마리아 , 라멜스,로날드,요세푸스,마리아
- Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. , 에이에스엠엘 홀딩 엔.브이.
- Applicant Address: P.O.Box ***, **** AH Veldhoven, The Netherlands
- Assignee: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.,에이에스엠엘 홀딩 엔.브이.
- Current Assignee: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.,에이에스엠엘 홀딩 엔.브이.
- Current Assignee Address: P.O.Box ***, **** AH Veldhoven, The Netherlands
- Agent 특허법인(유)화우
- Priority: US62/394,124 2016-09-13
- International Application: PCT/EP2017/071870 2017-08-31
- International Announcement: WO2018050443 2018-03-22
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20 ; H01L21/027
Abstract:
대상물을위치시키는위치설정시스템이개시된다. 위치설정시스템은스테이지, 균형질량체및 액추에이터시스템을포함한다. 스테이지는대상물을유지하기위한것이다. 액추에이터시스템은제 1 방향으로스테이지를구동하는한편, 제 1 방향과반대인제 2 방향으로균형질량체를구동하도록배치된다. 스테이지는이동범위내에서제 1 방향으로이동가능하다. 스테이지가제 1 방향으로이동하고있고이동범위의끝에있는경우, 위치설정시스템은스테이지를정면으로균형질량체에충돌시키도록배치된다.
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