发明专利
TW200947664A 半導體裝置及其製造方法 审中-公开
半导体设备及其制造方法

  • 专利标题: 半導體裝置及其製造方法
  • 专利标题(英): Semiconductor device and manufacturing method of the same
  • 专利标题(中): 半导体设备及其制造方法
  • 申请号: TW097148047
    申请日: 2008-12-10
  • 公开(公告)号: TW200947664A
    公开(公告)日: 2009-11-16
  • 发明人: 荒木誠石田心平中村滋
  • 申请人: 瑞薩科技股份有限公司
  • 申请人地址: RENESAS TECHNOLOGY CORP. 日本 JP
  • 专利权人: 瑞薩科技股份有限公司
  • 当前专利权人: 瑞薩科技股份有限公司
  • 当前专利权人地址: RENESAS TECHNOLOGY CORP. 日本 JP
  • 代理商 陳長文
  • 优先权: 日本 2008-064322 20080313
  • 主分类号: H01L
  • IPC分类号: H01L G06K
半導體裝置及其製造方法
摘要:
本發明提供一種半導體裝置及其製造方法,該半導體裝置係於將半導體晶片埋入配線基板內部,且覆晶連接形成於半導體晶片表面之凸塊電極與形成於配線基板內部之配線之情形時,使半導體晶片之整個背面充分起作用作為背面電極。將半導體晶片CHP1埋入配線基板內部而進行安裝。此時,半導體晶片CHP1係藉由凸塊電極BP而與形成配線基板之核心層的基底基板20進行覆晶(面朝下)連接。於半導體晶片CHP1之與凸塊電極形成面相反側的面上形成有導體膜11。導體膜11起作用作為向形成於半導體晶片CHP1內部之積體電路供給基準電位之背面電極,該導體膜11經由通道V而與第3層配線L3電性連接。
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