发明专利
- 专利标题: 半導體裝置
- 专利标题(英): Semiconductor device
- 专利标题(中): 半导体设备
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申请号: TW103140874申请日: 2014-11-25
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公开(公告)号: TW201530735A公开(公告)日: 2015-08-01
- 发明人: 五十嵐孝行 , IGARASHI, TAKAYUKI , 船矢琢央 , FUNAYA, TAKUO
- 申请人: 瑞薩電子股份有限公司 , RENESAS ELECTRONICS CORPORATION
- 专利权人: 瑞薩電子股份有限公司,RENESAS ELECTRONICS CORPORATION
- 当前专利权人: 瑞薩電子股份有限公司,RENESAS ELECTRONICS CORPORATION
- 代理商 陳長文
- 优先权: PCT/JP2014/051982 20140129
- 主分类号: H01L27/00
- IPC分类号: H01L27/00 ; H01F41/14
摘要:
本發明提高半導體裝置之特性。半導體裝置包含形成於層間絕緣膜IL2上之線圈CL1及配線M2、形成於層間絕緣膜IL3上之配線M3、以及形成於層間絕緣膜IL4上之線圈CL2及配線M4。而且,線圈CL2與配線M4之距離DM4大於線圈CL2與配線M3之距離DM3(DM4>DM3)。又,線圈CL2與配線M3之距離DM3大於等於位於線圈CL1與線圈CL2之間之層間絕緣膜IL3之膜厚與層間絕緣膜IL4之膜厚之和。藉此,可提高容易產生高電壓差之線圈CL2與配線M4之間等之絕緣耐壓。又,設置包圍變壓器形成區域1A及周邊電路形成區域1B之密封環形成區域1C,而謀求提高耐濕性。
公开/授权文献
- TWI638445B 半導體裝置 公开/授权日:2018-10-11
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IPC分类: