发明专利
TW201530735A 半導體裝置 审中-公开
半导体设备

半導體裝置
摘要:
本發明提高半導體裝置之特性。半導體裝置包含形成於層間絕緣膜IL2上之線圈CL1及配線M2、形成於層間絕緣膜IL3上之配線M3、以及形成於層間絕緣膜IL4上之線圈CL2及配線M4。而且,線圈CL2與配線M4之距離DM4大於線圈CL2與配線M3之距離DM3(DM4>DM3)。又,線圈CL2與配線M3之距離DM3大於等於位於線圈CL1與線圈CL2之間之層間絕緣膜IL3之膜厚與層間絕緣膜IL4之膜厚之和。藉此,可提高容易產生高電壓差之線圈CL2與配線M4之間等之絕緣耐壓。又,設置包圍變壓器形成區域1A及周邊電路形成區域1B之密封環形成區域1C,而謀求提高耐濕性。
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