Invention Patent
TW201542874A 鍍浴組合物及鈀之無電鍍覆方法 审中-公开
镀浴组合物及钯之无电镀覆方法

鍍浴組合物及鈀之無電鍍覆方法
Abstract:
本發明係關於一種鍍浴組合物及一種藉由無電鍍覆將鈀層沉積在基板上之方法。根據本發明之含水酸性鍍浴包括鈀離子源、還原劑、鈀離子之氮化錯合劑及選自由包括至少兩個殘基之芳香族化合物組成之群的水溶性穩定劑,其中至少一殘基係親水殘基及至少一殘基具有負中介效應。該鍍浴具有提高之抗不想要分解的穩定性,同時維持充分鍍覆速率。
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