Invention Patent
- Patent Title: 鍍浴組合物及鈀之無電鍍覆方法
- Patent Title (English): Plating bath composition and method for electroless plating of palladium
- Patent Title (中): 镀浴组合物及钯之无电镀覆方法
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Application No.: TW104111686Application Date: 2015-04-10
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Publication No.: TW201542874APublication Date: 2015-11-16
- Inventor: 蘇誠傳克 克里斯多夫 , SUCHENTRUNK, CHRISTOF , 葛魯姆特 凱瑟林娜 , GRUMMT, KATHARINA , 克拉莫 朱利亞 , CRAMER, JULIA
- Applicant: 德國艾托特克公司 , ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
- Assignee: 德國艾托特克公司,ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
- Current Assignee: 德國艾托特克公司,ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
- Agent 陳長文
- Priority: 14164252.0 20140410
- Main IPC: C23C18/44
- IPC: C23C18/44 ; H01L21/288
Abstract:
本發明係關於一種鍍浴組合物及一種藉由無電鍍覆將鈀層沉積在基板上之方法。根據本發明之含水酸性鍍浴包括鈀離子源、還原劑、鈀離子之氮化錯合劑及選自由包括至少兩個殘基之芳香族化合物組成之群的水溶性穩定劑,其中至少一殘基係親水殘基及至少一殘基具有負中介效應。該鍍浴具有提高之抗不想要分解的穩定性,同時維持充分鍍覆速率。
Public/Granted literature
- TWI682064B 鍍浴組合物及鈀之無電鍍覆方法 Public/Granted day:2020-01-11
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IPC分类: