Invention Patent
- Patent Title: 帶有多個外延層的橫向PNP雙極電晶體
- Patent Title (English): Lateral PNP bipolar transistor formed with multiple epitaxial layers
- Patent Title (中): 带有多个外延层的横向PNP双极晶体管
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Application No.: TW104143552Application Date: 2012-09-21
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Publication No.: TW201613096APublication Date: 2016-04-01
- Inventor: 雪克瑪力卡勒強斯瓦密 , MALLIKARJUNASWAMY,SHEKAR , 弗蘭茨娃赫爾伯特 , HEBERT,FRANCOIS
- Applicant: 萬國半導體股份有限公司 , ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- Assignee: 萬國半導體股份有限公司,ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- Current Assignee: 萬國半導體股份有限公司,ALPHA AND OMEGA SEMICONDUCTOR INCORPORATED
- Agent 李國光; 張仲謙
- Priority: 13/243 20110923
- Main IPC: H01L29/73
- IPC: H01L29/73 ; H01L21/8248
Abstract:
本發明涉及一種帶有多個外延層的橫向PNP雙極電晶體,具體是指利用相同導電類型的多外延層,製備帶有深發射極和深集電極區的橫向雙極電晶體。無需使用溝槽,就能製備深發射極和深集電極區。在每個外延層中,製備垂直對準的擴散區,使擴散區在退火後,合併到連續的擴散區中,作為發射極或集電極或隔離結構。在另一個實施例中,利用溝槽發射極和溝槽集電極區,製備橫向溝槽PNP雙極電晶體。在另一個實施例中,製備合併了LDMOS電晶體的橫向PNP雙極電晶體,以獲得高性能。
Public/Granted literature
- TWI604608B 帶有多個外延層的橫向PNP雙極電晶體 Public/Granted day:2017-11-01
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IPC分类: