发明专利
- 专利标题: 半導體裝置用接合線
- 专利标题(英): Bonding wire for semiconductor device
- 专利标题(中): 半导体设备用接合线
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申请号: TW105137924申请日: 2016-05-26
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公开(公告)号: TW201708553A公开(公告)日: 2017-03-01
- 发明人: 山田隆 , YAMADA, TAKASHI , 小田大造 , ODA, DAIZO , 榛原照男 , HAIBARA, TERUO , 大石良 , OISHI, RYO , 齋藤和之 , SAITO, KAZUYUKI , 宇野智裕 , UNO, TOMOHIRO
- 申请人: 日鐵住金新材料股份有限公司 , NIPPON MICROMETAL CORPORATION , 新日鐵住金高新材料股份有限公司 , NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD.
- 专利权人: 日鐵住金新材料股份有限公司,NIPPON MICROMETAL CORPORATION,新日鐵住金高新材料股份有限公司,NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD.
- 当前专利权人: 日鐵住金新材料股份有限公司,NIPPON MICROMETAL CORPORATION,新日鐵住金高新材料股份有限公司,NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD.
- 代理商 陳長文
- 优先权: 2015-120509 20150615;PCT/JP2015/070861 20150722
- 主分类号: C22C9/00
- IPC分类号: C22C9/00 ; H01L21/60
摘要:
本發明之半導體裝置用接合線具有Cu合金芯材、及形成於其表面之Pd被覆層,可同時實現高溫下之球接合部之接合可靠性提高、及耐力比(=最大耐力/0.2%耐力):1.1~1.6。 藉由使導線中包含賦予高溫環境下之連接可靠性之元素而提高高溫下之球接合部之接合可靠性,進而,藉由於對接合線之垂直於導線軸之方向之芯材剖面測定結晶方位之結果中,將導線長度方向之結晶方位中相對於導線長度方向之角度差為15度以下之結晶方位 之方位比率設為30%以上,且將接合線之垂直於導線軸之方向之芯材剖面中之平均結晶粒徑設為0.9~1.5μm,而將耐力比設為1.6以下。
公开/授权文献
- TWI618802B 半導體裝置用接合線 公开/授权日:2018-03-21
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