发明专利
TW201708553A 半導體裝置用接合線 审中-公开
半导体设备用接合线

半導體裝置用接合線
摘要:
本發明之半導體裝置用接合線具有Cu合金芯材、及形成於其表面之Pd被覆層,可同時實現高溫下之球接合部之接合可靠性提高、及耐力比(=最大耐力/0.2%耐力):1.1~1.6。 藉由使導線中包含賦予高溫環境下之連接可靠性之元素而提高高溫下之球接合部之接合可靠性,進而,藉由於對接合線之垂直於導線軸之方向之芯材剖面測定結晶方位之結果中,將導線長度方向之結晶方位中相對於導線長度方向之角度差為15度以下之結晶方位 之方位比率設為30%以上,且將接合線之垂直於導線軸之方向之芯材剖面中之平均結晶粒徑設為0.9~1.5μm,而將耐力比設為1.6以下。
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