发明专利
- 专利标题: 封裝基板之製作方法
- 专利标题(英): Method of fabricating package substrates
- 专利标题(中): 封装基板之制作方法
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申请号: TW105100616申请日: 2016-01-08
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公开(公告)号: TW201725633A公开(公告)日: 2017-07-16
- 发明人: 余俊賢 , YU, CHUN HSIEN , 許詩濱 , HSU, SHIH PING , 周保宏 , CHOU, PAO HUNG
- 申请人: 恆勁科技股份有限公司 , PHOENIX PIONEER TECHNOLOGY CO., LTD.
- 申请人地址: 新竹縣
- 专利权人: 恆勁科技股份有限公司,PHOENIX PIONEER TECHNOLOGY CO., LTD.
- 当前专利权人: 恆勁科技股份有限公司,PHOENIX PIONEER TECHNOLOGY CO., LTD.
- 当前专利权人地址: 新竹縣
- 代理商 林坤成; 林瑞祥
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60 ; H05K3/46
摘要:
本發明揭示一種封裝基板之製作方法,其步驟包含:提供一承載板;形成一第一介電材料層於該承載板上,並圖案化該第一介電材料層,使得一開口區形成於該第一介電材料層內,藉以露出該承載板;形成一第一導電單元於該承載板上,使得位於該開口區的該第一導電單元之高度大於該第一介電材料層之厚度,並使得位於該第一介電材料層之上的該第一導電單元之寬度大於該開口區之寬度;形成一第二介電材料層於該第一導電單元上;形成一第二導電單元於該第二介電材料層上;形成一第三介電材料層於該第二導電單元上;移除該承載板,並移除該第一導電單元位於該開口區內的部分;以及形成一第四介電材料層,使其包覆該第才導電單元。
公开/授权文献
- TWI566309B 封裝基板之製作方法 公开/授权日:2017-01-11
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