Invention Patent
- Patent Title: 積體電路結構及密封環結構
- Patent Title (English): Integrated circuit structure and seal ring structure
- Patent Title (中): 集成电路结构及密封环结构
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Application No.: TW105139147Application Date: 2016-11-28
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Publication No.: TW201740513APublication Date: 2017-11-16
- Inventor: 梁世緯 , LIANG, SHIH-WEI , 杜賢明 , TU, HSIEN-MING , 楊慶榮 , YANG, CHING-JUNG , 黃章斌 , HUANG, CHANG-PIN , 賴昱嘉 , LAI, YU-CHIA
- Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- Applicant Address: 新竹市
- Assignee: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- Current Assignee: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- Current Assignee Address: 新竹市
- Agent 陳長文; 馮博生
- Priority: 15/017,114 20160205
- Main IPC: H01L23/16
- IPC: H01L23/16
Abstract:
本揭露實施例提供一種具有密封環結構之積體電路結構。該密封環結構包含一低k介電層、一第一密封環及一第二密封環。該第一密封環與該第二密封環彼此間隔開。該第一密封環及該第二密封環中之每一者包括一金屬層。該金屬層嵌入於該低k介電層中,且該金屬層包含具有複數個開口之一主體圖案。該主體圖案對該第一密封環及該第二密封環之該金屬層之面積比率大於或等於50%且小於100%。
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IPC分类: