Invention Patent
TW201740513A 積體電路結構及密封環結構 审中-公开
集成电路结构及密封环结构

積體電路結構及密封環結構
Abstract:
本揭露實施例提供一種具有密封環結構之積體電路結構。該密封環結構包含一低k介電層、一第一密封環及一第二密封環。該第一密封環與該第二密封環彼此間隔開。該第一密封環及該第二密封環中之每一者包括一金屬層。該金屬層嵌入於該低k介電層中,且該金屬層包含具有複數個開口之一主體圖案。該主體圖案對該第一密封環及該第二密封環之該金屬層之面積比率大於或等於50%且小於100%。
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