Invention Patent
- Patent Title: 搬運裝置及搬運方法
- Patent Title (English): TRANSFER APPARATUS AND TRANSFER METHOD
- Patent Title (中): 搬运设备及搬运方法
-
Application No.: TW107112868Application Date: 2018-04-16
-
Publication No.: TW201902558APublication Date: 2019-01-16
- Inventor: 今真人 , KON, MASATO
- Applicant: 日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
- Assignee: 日商東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED
- Current Assignee: 日商東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED
- Agent 陳長文
- Priority: 2017-090011 20170428
- Main IPC: B01D53/02
- IPC: B01D53/02 ; B08B17/02 ; H01L21/677
Abstract:
本發明之課題在於抑制微粒對被處理體之附著。 本發明之搬運裝置具備：搬運室，其供於搬運在處理室中實施處理之被處理體；及離子液體，其保持於搬運室之內壁，用以吸附搬運室內之氛圍中之微粒。
Information query
IPC分类:
