公开(公告)号：TWM599997U

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：TW108217323

申请日：2019-04-09

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 薩米爾 梅莫特圖格魯爾 ,  SAMIR, MEHMET TUGRUL ,  楊 冬青 ,  YANG, DONGQING

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/677

公开(公告)号：TWI700777B

公开(公告)日：2020-08-01

申请号：TW108104488

申请日：2019-02-11

申请人： 美商奈米創尼克影像公司 ,  NANOTRONICS IMAGING, INC.

发明人： 葛瑞菲斯 蘭道夫 ,  GRIFFITH, RANDOLPH E. ,  安德森 傑夫 ,  ANDRESEN, JEFF ,  波其 羅佑拉 史考特 ,  POZZI-LOYOLA, SCOTT ,  莫斯奇 麥可 ,  MOSKIE, MICHAEL ,  史奎恩頓 史蒂夫 ,  SCRANTON, STEVE ,  詹姆 亞力山卓 ,  JAIME, ALEJANDRO S. ,  普特曼 約翰 ,  PUTMAN, JOHN B.

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/677 ,  H01L21/66

公开(公告)号：TWI699850B

公开(公告)日：2020-07-21

申请号：TW108109667

申请日：2014-11-03

申请人： 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 萊斯 麥可羅伯特 ,  RICE, MICHAEL ROBERT ,  麥爾斯 麥克 ,  MEYERS, MICHAEL ,  瑪索可 約翰J ,  MAZZOCCO, JOHN J. ,  赫魯澤克 迪恩C ,  HRUZEK, DEAN C. ,  庫加爾 麥可 ,  KUCHAR, MICHAEL ,  柯西堤 蘇珊特S ,  KOSHTI, SUSHANT S. ,  坎卡納拉 潘恰拉N ,  KANKANALA, PENCHALA N. ,  英格寒特 艾力克A ,  ENGLHARDT, ERIC A.

IPC分类号： H01L21/677

公开(公告)号：TW202026215A

公开(公告)日：2020-07-16

申请号：TW108144748

申请日：2019-12-06

申请人： 日商村田機械股份有限公司 ,  MURATA MACHINERY, LTD.

发明人： 和田栄治 ,  WADA, EIJI

IPC分类号： B65G1/04 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

摘要： 本發明之課題，提供可使物品相對於移載目的地正確地交接或使感測器適當地作動之搬送車。本發明之搬送車100具備有：移行驅動部10；本體部40；升降台42，其具有保持物品FP之夾具42a且可相對於本體部40升降；升降驅動部43，其藉由具有可撓性之帶43a之捲出及捲取來使升降台42升降；橫向伸出機構45，其使升降驅動部43以懸臂支撐之狀態朝本體部40之側方突出；以及調整部81，其根據利用橫向伸出機構45所致之升降驅動部43之橫向伸出量、及利用升降驅動部43所致之升降台42之下降量，來進行相對於移載目的地交付物品FP之情形及接收物品FP之情形時之橫向伸出量之調整、以及升降驅動部43所具備有之感測器44之朝向之調整中之任一者或雙方。

简体摘要： 本发明之课题，提供可使物品相对于移载目的地正确地交接或使传感器适当地作动之搬送车。本发明之搬送车100具备有：移行驱动部10；本体部40；升降台42，其具有保持物品FP之夹具42a且可相对于本体部40升降；升降驱动部43，其借由具有可挠性之带43a之卷出及卷取来使升降台42升降；横向伸出机构45，其使升降驱动部43以悬臂支撑之状态朝本体部40之侧方突出；以及调整部81，其根据利用横向伸出机构45所致之升降驱动部43之横向伸出量、及利用升降驱动部43所致之升降台42之下降量，来进行相对于移载目的地交付物品FP之情形及接收物品FP之情形时之横向伸出量之调整、以及升降驱动部43所具备有之传感器44之朝向之调整中之任一者或双方。

公开(公告)号：TWI697960B

公开(公告)日：2020-07-01

申请号：TW106120089

申请日：2017-06-16

申请人： 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司

发明人： 白志民 ,  李強 ,  鄧斌 ,  鄧玉春 ,  王 厚工 ,  丁 培軍

IPC分类号： H01L21/324 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

公开(公告)号：TWI697027B

公开(公告)日：2020-06-21

申请号：TW107119220

申请日：2018-06-04

申请人： 南韓商責市特馬股份有限公司 ,  JUSTEM CO., LTD.

发明人： 金弘烈 ,  KIM, HONG YUL

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/673

公开(公告)号：TW202022975A

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：TW108141888

申请日：2019-11-19

申请人： 日商斯庫林集團股份有限公司 ,  SCREEN HOLDINGS CO., LTD.

发明人： 大宅宗明 ,  OE, MUNEAKI ,  鈴木啓悟 ,  SUZUKI, KEIGO ,  塩田明仁 ,  SHIOTA, AKIHITO ,  黒枝篤史 ,  KUROEDA, ATSUSHI ,  富藤幸雄 ,  TOMIFUJI, YUKIO

IPC分类号： H01L21/677 ,  B05C13/02 ,  B05D5/00

摘要： 本發明提供一種可順暢地進行向自下方施加浮力來支撐基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或損傷的基板搬送裝置及塗布裝置。在本發明的基板搬送裝置中，在將與基板的搬送方向正交的水準方向設為寬度方向時，基板支撐平台在俯視時與搬送輥在寬度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游側端部至少延伸至搬送輥的旋轉軸的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度與基板支撐面相同且與基板支撐面連接，由升降機構定位於上部位置的搬送輥搬送基板，直至俯視時基板的前端部到達較搬送輥的旋轉軸更靠下游位置處，其後，升降機構使搬送輥下降至下部位置，由此將基板自搬送輥移交至基板支撐平台。

简体摘要： 本发明提供一种可顺畅地进行向自下方施加浮力来支撑基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或损伤的基板搬送设备及涂布设备。在本发明的基板搬送设备中，在将与基板的搬送方向正交的水准方向设为宽度方向时，基板支撑平台在俯视时与搬送辊在宽度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游侧端部至少延伸至搬送辊的旋转轴的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度与基板支撑面相同且与基板支撑面连接，由直升电梯构定位于上部位置的搬送辊搬送基板，直至俯视时基板的前端部到达较搬送辊的旋转轴更靠下游位置处，其后，直升电梯构使搬送辊下降至下部位置，由此将基板自搬送辊移交至基板支撑平台。

公开(公告)号：TWI696234B

公开(公告)日：2020-06-11

申请号：TW107105516

申请日：2018-02-14

申请人： 日商精工愛普生股份有限公司 ,  SEIKO EPSON CORPORATION

发明人： 山崎孝 ,  YAMAZAKI, TAKASHI

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  G09G5/00 ,  G06F3/14

公开(公告)号：TWI695447B

公开(公告)日：2020-06-01

申请号：TW103139220

申请日：2014-11-12

申请人： 布魯克斯自動機械公司 ,  BROOKS AUTOMATION, INC.

发明人： 摩拉 傑羅 ,  MOURA, JAIRO TERRA ,  柯迪 馬休 ,  COADY, MATTHEW W. ,  基士德 阿里色吉爾 ,  GILCHRIST, ULYSSES ,  岡 布萊登 ,  GUNN, BRANDEN ,  利利斯坦 里歐納德 ,  LILLISTON, LEONARD ,  巴拉耐 傑夫 ,  PARANAY, JEFF ,  賽德派瑞 瑞薩 ,  SAEIDPOURAZAR, REZA ,  克利許納斯美 傑亞拉曼 ,  KRISHNASAMY, JAYARAMAN

IPC分类号： H01L21/677

公开(公告)号：TWI695445B

公开(公告)日：2020-06-01

申请号：TW108112834

申请日：2012-12-17

申请人： 日商尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  鈴木智也 ,  SUZUKI, TOMONARI

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677