一種基板處理腔室的噴淋頭，包含：內壁；一內充氣部，其位於該等內壁之間；一面板，其具有一第1表面與一第2表面，該第2表面係與該第1表面相反；穿過該面板的孔，其係從該第1表面延伸到該第2表面；一第1入口，其與該內充氣部流體地連接；外壁；一第1外充氣部，其位於該等內壁與該等外壁之間；一第2外充氣部，其位於該等內壁與該等外壁之間；以及冷媒通道：其使該第1外充氣部與該第2外充氣部流體地連接；其設置在該面板內並且位於該第1與第2表面之間；並且其與該等孔流體地隔離。該噴淋頭亦包含一第2入口，其與該第1外充氣部流體地連接。