发明专利
- 专利标题： 金屬矽化物熱感測器及其製法
- 专利标题（中）： 金属硅化物热传感器及其制法
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申请号： TW101101317申请日： 2012-01-13
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公开(公告)号： TWI476969B公开(公告)日： 2015-03-11
- 发明人: 陳忠男 , 蕭健華 , 黃文琦
- 申请人： 國立高雄應用科技大學 , NATIONAL KAOHSIUNG UNIVERSITY OF APPLIED SCIENCES
- 申请人地址： 高雄市
- 专利权人： 國立高雄應用科技大學,NATIONAL KAOHSIUNG UNIVERSITY OF APPLIED SCIENCES
- 当前专利权人： 國立高雄應用科技大學,NATIONAL KAOHSIUNG UNIVERSITY OF APPLIED SCIENCES
- 当前专利权人地址： 高雄市
- 代理商 桂齊恆; 林景郁
- 主分类号： H01L35/00
- IPC分类号： H01L35/00 ; H01L35/34
公开/授权文献
- TW201330338A 金屬矽化物熱感測器及其製法 公开/授权日：2013-07-16
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