发明授权
- 专利标题： MEMS component
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申请号： US15506068申请日： 2015-06-23
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公开(公告)号： US10000374B2公开(公告)日： 2018-06-19
- 发明人: Christoph Schelling , Benedikt Stein , Michael Stumber
- 申请人： Robert Bosch GmbH
- 申请人地址： DE Stuttgart
- 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人地址： DE Stuttgart
- 代理机构： Norton Rose Fulbright US LLP
- 代理商 Gerard Messina
- 优先权： DE102014217152 20140828
- 国际申请： PCT/EP2015/064042 WO 20150623
- 国际公布： WO2016/030040 WO 20160303
- 主分类号： H01L29/84
- IPC分类号： H01L29/84 ; B81B3/00
摘要：
A layer material which is particularly suitable for the realization of self-supporting structural elements having an electrode in the layer structure of a MEMS component. The self-supporting structural element is at least partially made up of a silicon carbonitride (Si1-x-yCxNy)-based layer.
公开/授权文献
- US20170247246A1 MEMS COMPONENT 公开/授权日：2017-08-31
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IPC分类:
