- 专利标题： Mounting arrangement for an optical imaging arrangement
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申请号： US16191627申请日： 2018-11-15
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公开(公告)号： US10520838B2公开(公告)日： 2019-12-31
- 发明人: Dirk Schaffer , Jens Prochnau
- 申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 申请人地址： DE Oberkochen
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： DE Oberkochen
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G02B7/182 ; G02B7/18
摘要：
A connection arrangement for connecting an optical component of an optical imaging arrangement to a support unit of a support structure includes: a connecting element unit having a support interface end with support interface section; and a component interface end with a component interface section.
公开/授权文献
- US20190086823A1 MOUNTING ARRANGEMENT FOR AN OPTICAL IMAGING ARRANGEMENT 公开/授权日：2019-03-21
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